講演抄録/キーワード |
講演名 |
2007-08-03 14:20
グラフェンシート構造を有するナノニードルからの電子放出の安定化 ~ 炭素系カソード放射電流変動のモデル提案 ~ ○根尾陽一郎(静岡大)・松本裕貴(スタンレー電気)・三村秀典・富田 誠(静岡大)・南 就将(慶大) ED2007-138 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2007-138 |
抄録 |
(和) |
グラファイト基板を水素プラズマでスパッタリングすることでグラフェンシートの層状構造を有するナノサイズのチップを高密度で成長・形成可能である。これまでにグラファイトナノニードル(GRANN)を走査型電子顕微鏡(scanning electron beam microscope: SEM)の電子源として搭載しブライトネス測定を行った結果、1011 Asr-1 m-2台の非常に高い輝度を有する事を明らかにした。またGRANNを加熱する事により、チップノイズを大幅に減少可能で、10-3 Pa程度の圧力下において安定したSEMイメージを取得出来る事を示した。本報告では、GRANNの電流変動の温度特性・ガス種依存性について詳細に解析したので報告する。この結果、物理吸着起因による電流変動のモデル化はポアソン布でモデル化可能である事を見出した。この手法により各ガス種のグラファイトへの物理吸着エネルギーの測定が可能であり文献値と非常によく一致する結果となった。 |
(英) |
Abstract A stable field emission under a high residual pressure (10-3 Pa) was obtained by the thermal field oeration of a nanoneedle cathode with a two dimensional graphene sheet structure, A high brightness electron emission of order of 1011 Asr-1 m-2, as well as stable emission, was achieved. The performance of the stabilized cathode was demonstrated by the construction of a compact FE scanning electron microscope system, and clear FE-SEM images were obtained at a residual pressure above 10-3 Pa. The emission current fluctuation as a function of cathode temperature was discussed based on the Poisson distribution. |
キーワード |
(和) |
グラファイト / 走査型電子顕微鏡(SEM) / ブライトネス / ポアソン分布 / / / / |
(英) |
graphite / scanning electron beam microscope / brightness / Poisson distribution / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 177, ED2007-138, pp. 11-14, 2007年8月. |
資料番号 |
ED2007-138 |
発行日 |
2007-07-27 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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