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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-04 16:55 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調 ○黒木伸一郎・小谷光司・伊藤隆司（東北大）  SDM2007-179 |
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| 抄録 | （和） | ペロブスカイト酸化物誘電体薄膜における歪印加効果について報告する。ペロブスカイト高誘電率薄膜において、不純物添加起因の歪みによる誘電特性変化が報告されている。本研究では、ペロブスカイト高誘電率薄膜の誘電特性の歪み依存性を調べるために、MOCVD成膜SrTiO3薄膜を用いたMIMキャパシタに機械的一軸性歪を印加・誘電特性を測定し、引張応力印加による誘電率増大を実験的に示した。またこの結果を微視的誘電体モデルに対応させ、歪印加によりイオン振動の減衰係数が低減していることを理論的に示した。 |
| （英） | The effect of tensile strain on SrTiO3 high-k insulator was discussed. The tensile strain on SrTiO3 thin films increased dielectric constant, and as a frequency became higher, the increment of dielectric constant increased. The mechanism of the tensile strain-induced capacitance increase was also discussed. The tensile strain reduced a damping of titanium-oxygen oscillator in SrTiO3 film, and titanium-oxygen dipole moment was increased. | |
| キーワード | （和） | ペロブスカイト高誘電率薄膜 / SrTiO3 / 引張り歪み / / / / / |
| （英） | Perovskite high-k dielectric film / SrTiO3 / Tensile strain / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 245, SDM2007-179, pp. 23-24, 2007年10月. | |
| 資料番号 | SDM2007-179 | |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2007-179 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2007-10-04 - 2007-10-05 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and Novel Process Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Modulation of Dielectric Constant on Mechanically Strained SrTiO3 MIM Capacitor |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ペロブスカイト高誘電率薄膜 / Perovskite high-k dielectric film |
| キーワード(2)（和/英） | SrTiO3 / SrTiO3 |
| キーワード(3)（和/英） | 引張り歪み / Tensile strain |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 黒木 伸一郎 / Shin-Ichiro Kuroki / クロキ シンイチロウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小谷 光司 / Koji Kotani / コタニ コウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊藤 隆司 / Takashi Ito / イトウ タカシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-04 16:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2007-179 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.245 |
| ページ範囲 | pp.23-24 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) |
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