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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-05 15:00 シリコン表面の原子オーダー平坦化技術 ○諏訪智之・黒田理人・寺本章伸・大見忠弘（東北大）  SDM2007-190 |
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| 抄録 | （和） | 本研究において、1200℃のArガス雰囲気中で(100)面のシリコンウェハを熱処理することにより、様々な原子オーダのステップ・テラスを有するシリコン表面が実現でき、そのステップ形状やテラス幅は、ウェハのオフ角・オフ方向に大きく関係していることを明らかにした。さらに、ウェハのオフ角の方向が、比較的<110>方向に近いウェハおいて、8インチウェハの全面にわたり均一な原子オーダ平坦表面が実現でき、その表面形状は、<110>方向と直行する方向に直線的なステップ形状のみが現われる構造となることを見出した。 |
| （英） | In this paper, atomically flat silicon surface can be realized by annealing at 1200℃ in Argon gas atmosphere, and it is found that the relationship between atomic terrace width and off angle from just (100) orientation is provided. Moreover, it is found that off angle and off direction significantly affect the atomically flat surface morphology. | |
| キーワード | （和） | シリコンウェハ / Si(100)面 / 原子オーダ平坦表面 / ステップ / テラス / AFM / / |
| （英） | Silicon wafer / Si(100) orientation / Atomic order flat surface / Step / Terrace / AFM / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 245, SDM2007-190, pp. 57-59, 2007年10月. | |
| 資料番号 | SDM2007-190 | |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2007-190 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2007-10-04 - 2007-10-05 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and Novel Process Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | シリコン表面の原子オーダー平坦化技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Atomic order flatting technology of silicon surface |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンウェハ / Silicon wafer |
| キーワード(2)（和/英） | Si(100)面 / Si(100) orientation |
| キーワード(3)（和/英） | 原子オーダ平坦表面 / Atomic order flat surface |
| キーワード(4)（和/英） | ステップ / Step |
| キーワード(5)（和/英） | テラス / Terrace |
| キーワード(6)（和/英） | AFM / AFM |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 諏訪 智之 / Tomoyuki Suwa / スワ トモユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-05 15:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2007-190 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.245 |
| ページ範囲 | pp.57-59 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) |
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