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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-19 14:25 Si圧痕のラマン分光解析 ○柳沢雅広・久保暢宏・阪田薫穂・加藤真裕・本間敬之・逢坂哲彌（早大）  EMD2007-64 |
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| 抄録 | （和） | Si表面に形成した三角錐圧痕について、共焦点型ラマン分光装置を用いてそのスペクトル解析およびイメージング解析を行った。その結果、圧痕周辺の盛り上がり部において応力により分離した3本のピークが観察され、低波数シフトが生じていることから引張歪が加わっていることが分かった。また圧痕中心では高波数シフトが生じて圧縮歪が加わっていることが分かった。これらの歪分布は有限要素法計算によっても確認された |
| （英） | Raman imaging was carried out to measure strain mapping at around indented Si surfaces. Two or three Raman peaks of Si were observed at swells around the triangular indentation dimple made by Berkovich type indenter. On the other hand, single Raman peak with high Raman shift was observed at the center of indentation. Raman shift images of the indentation reveal that there are compressive strain at the center of dimple and tensile strain at the swelled surroundings. The peak separation is induced by biaxial or triaxial stresses during the indentation process. Calculated strain images using FEM (Finite Element Method) showed good agreement with the experimental results | |
| キーワード | （和） | ラマン分光法 / シリコン / 圧痕 / 歪 / / / / |
| （英） | Raman Spectroscopy / Silicon / Indentation / Strain / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 272, EMD2007-64, pp. 51-54, 2007年10月. | |
| 資料番号 | EMD2007-64 | |
| 発行日 | 2007-10-12 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2007-64 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2007-10-19 - 2007-10-19 |
| 開催地（和） | 慶応義塾大学（日吉キャンパス） |
| 開催地（英） | Keio Univ. Hiyoshi Campus |
| テーマ（和） | トライボロジー/一般 (共催：日本トライボロジー学会固体潤滑研究会，および継電器・コンタクトテクノロジー研究会） |
| テーマ（英） | Tribology, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2007-10-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Si圧痕のラマン分光解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Raman Spectroscopy of Si Indents |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ラマン分光法 / Raman Spectroscopy |
| キーワード(2)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(3)（和/英） | 圧痕 / Indentation |
| キーワード(4)（和/英） | 歪 / Strain |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳沢 雅広 / Masahiro Yanagisawa / ヤナギサワ マサヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保 暢宏 / Nobuhiro Kubo / クボ ノブヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阪田 薫穂 / Kaoruho Sakata / サカタ カオルホ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加藤 真裕 / Masahiro Kato / カトウ マサヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本間 敬之 / Takayuki Homma / ホンマ タカユキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 逢坂 哲彌 / Tetsuya Osaka / オウサカ テツヤ |
| 第6著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-19 14:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2007-64 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.272 |
| ページ範囲 | pp.51-54 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-10-12 (EMD) |
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