| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-31 11:15 相互透過係数の固有ベクトルを用いたホットスポット検出方法の検討 ○吉川智史（富士通VLSI）・二谷広貴・千々松達夫・浅井 了（富士通）  VLD2007-63 SDM2007-207 |
|
| 抄録 | （和） | 本論文では、光学条件から定まる相互透過係数を固有値分解することで転写される光学像が、光学系カーネルとパターン上の振幅分布のコンボリューションで表されることに着目した。カーネルが表している周辺への光近接効果の影響を用いて、露光マージンの少ないホットスポットと呼ばれる危険パターンの検出方法について検討を行う。危険パターン検出に用いるカーネルを、最適露光条件のみではなく、フォーカスの異なる相互透過係数との差分を用いて計算することで、フォーカスマージンの少ない箇所についても危険パターンとして検出できることを確認した。また、検出したパターンが実際のデバイス上においてもマージンが少なくなっていることを確認した。 |
| （英） | In this paper, we examined the method for detecting litho weak points using kernel derived from eigen vectors of Transmission Cross Coefficient (TCC). We regarded on that the aerial image can be expressed by the convolution-integral of amplitude of polygon’s transmission and kernel, and utilized the relationship for hot-spot detection. We confirmed that detected features have fewer margins than undetected features by using the difference of ideal TCC and defocused TCC. Furthermore, we confirmed that experimental results show good agreement with our predictions. | |
| キーワード | （和） | 相互透過係数 / 光近接効果 / カーネル / ホットスポット / / / / |
| （英） | TCC / eigen vector / kernel / litho weak points / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 298, SDM2007-207, pp. 17-20, 2007年10月. | |
| 資料番号 | SDM2007-207 | |
| 発行日 | 2007-10-24 (VLD, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2007-63 SDM2007-207 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM VLD |
| 開催期間 | 2007-10-30 - 2007-10-31 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit Simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-10-SDM-VLD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 相互透過係数の固有ベクトルを用いたホットスポット検出方法の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study of litho weak points detecting method using TCC's eigen vector |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 相互透過係数 / TCC |
| キーワード(2)（和/英） | 光近接効果 / eigen vector |
| キーワード(3)（和/英） | カーネル / kernel |
| キーワード(4)（和/英） | ホットスポット / litho weak points |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉川 智史 / Satoshi Yoshikawa / ヨシカワ サトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富士通VLSI株式会社 (略称： 富士通VLSI) FUJITSU VLSI LIMITED (略称： FUJITSU VLSI) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 二谷 広貴 / Hiroki Futatuya / フタツヤ ヒロキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富士通株式会社 (略称： 富士通) FUJITSU LIMITED (略称： FUJITSU) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 千々松 達夫 / Tatsuo Chijimatsu / チヂマツ タツオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 富士通株式会社 (略称： 富士通) FUJITSU LIMITED (略称： FUJITSU) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浅井 了 / Satoru Asai / アサイ サトル |
| 第4著者 所属（和/英） | 富士通株式会社 (略称： 富士通) FUJITSU LIMITED (略称： FUJITSU) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-31 11:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | VLD2007-63, SDM2007-207 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.296(VLD), no.298(SDM) |
| ページ範囲 | pp.17-20 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-10-24 (VLD, SDM) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]