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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-11-16 14:05 フォトポリマーとマスク間距離が格子形成に及ぼす影響 ○田邉春美・小野浩司（長岡技科大）・川月喜弘（兵庫県立大）  OME2007-62 OPE2007-129 |
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| 抄録 | （和） | 光反応性有機材料への光照射で引き起こされる化学反応や物質移動によって回折格子形成が可能であることは広く知られている。回折格子の作製法としてとして代表的なマスク露光法は簡便な光学系で大面積露光が可能なことやパターンの多様性から有用な方法である。近接露光を行う際のフォトマスクと基板との間のギャップ長は作製された格子の特性を決定する重要なパラメーターであり、本研究ではフォトポリマーへマスク露光法によって回折格子を記録した際の回折特性とギャップ長との相関関係について、更に光源のコヒーレント性による格子形成の違いについて調査した。 |
| （英） | It is well known that optical diffraction gratings can be fabricated by photochemical reaction and/or material migration in photo-reactive organic material. One of sophisticated methods for grating formation is mask exposure method. Mask exposure method is useful and convenient to fabricate the large-area gratings. Gap length between the optical mask and substrate is one of very important parameters in proximity exposure. In the present study, considering the coherent length of light source, we intensively study the effects of gap between optical mask and photopolymer on grating formation. | |
| キーワード | （和） | 回折格子 / フォトポリマー / マスク露光 / ギャップ長 / / / / |
| （英） | Grating / Photopolymer / Mask exposure method / Gap length / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 322, OPE2007-129, pp. 13-17, 2007年11月. | |
| 資料番号 | OPE2007-129 | |
| 発行日 | 2007-11-09 (OME, OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2007-62 OPE2007-129 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE OME |
| 開催期間 | 2007-11-16 - 2007-11-16 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光機能性有機材料・デバイス、光非線形現象、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2007-11-OPE-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | フォトポリマーとマスク間距離が格子形成に及ぼす影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effects of gap between optical mask and photopolymer on grating formation. |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 回折格子 / Grating |
| キーワード(2)（和/英） | フォトポリマー / Photopolymer |
| キーワード(3)（和/英） | マスク露光 / Mask exposure method |
| キーワード(4)（和/英） | ギャップ長 / Gap length |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田邉 春美 / Harumi Tanabe / タナベ ハルミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小野 浩司 / Hiroshi Ono / オノ ヒロシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川月 喜弘 / Nobuhiro Kawatsuki / カワツキ ノブヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-11-16 14:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OME2007-62, OPE2007-129 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.321(OME), no.322(OPE) |
| ページ範囲 | pp.13-17 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2007-11-09 (OME, OPE) |
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