| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2007-12-14 13:00
スパッタリング法により作製したタンタル酸化物薄膜からの青色発光の観測
三浦健太・○宮崎弘規・花泉 修（群馬大） |
| 抄録 |
（和） |
スパッタリング法によりタンタル酸化物薄膜を成膜し，アニール処理後に青色のフォトルミネセンスが得られることを見出した．今回の実験では，600℃で20分間のアニールをした試料から，最も強い発光（ピーク波長430nm付近）が得られた．タンタル酸化物は，自己クローニング型フォトニック結晶などのパッシブ素子用材料として主に用いられているが，今回，青色発光が観測されたことで，アクティブ素子用材料としての応用の可能性が拓かれた． |
| （英） |
We observed blue photoluminescence from tantalum oxide sputtered films after thermal annealing. Strong photoluminescence having a peak wavelength of around 430 nm was obtained from a sample after annealing at 600oC for 20 min. Tantalum oxide films which emit blue light can be useful as materials for novel active optical devices using autocloned Ta2O5/SiO2 photonic crystals and so on. |
| キーワード |
（和） |
タンタル酸化物 / スパッタリング / アニール / 青色発光 / / / / |
| （英） |
Tantalum Oxide / Sputtering / Annealing / Blue-light Emission / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 389, OPE2007-135, pp. 1-4, 2007年12月. |
| 資料番号 |
OPE2007-135 |
| 発行日 |
2007-12-07 (OPE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
OPE |
| 開催期間 |
2007-12-14 - 2007-12-14 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
光パッシブコンポネント（フィルタ，コネクタ，MEMS）、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般 |
| テーマ（英） |
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| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
OPE |
| 会議コード |
2007-12-OPE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
スパッタリング法により作製したタンタル酸化物薄膜からの青色発光の観測 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Observation of blue-light emission from tantalum oxide films fabricated by using rf sputtering |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
タンタル酸化物 / Tantalum Oxide |
| キーワード(2)（和/英） |
スパッタリング / Sputtering |
| キーワード(3)（和/英） |
アニール / Annealing |
| キーワード(4)（和/英） |
青色発光 / Blue-light Emission |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ |
| 第1著者 所属（和/英） |
群馬大学 (略称： 群馬大)
Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
宮崎 弘規 / Hiroki Miyazaki / ミヤザキ ヒロキ |
| 第2著者 所属（和/英） |
群馬大学 (略称： 群馬大)
Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム |
| 第3著者 所属（和/英） |
群馬大学 (略称： 群馬大)
Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第2著者 |
| 発表日時 |
2007-12-14 13:00:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
OPE |
| 資料番号 |
OPE2007-135 |
| 巻番号（vol） |
vol.107 |
| 号番号（no） |
no.389 |
| ページ範囲 |
pp.1-4 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2007-12-07 (OPE) |