講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-01-25 13:00
プラスチックフィルムの透湿度計測センサ ~ ポリイミド薄膜方式 ~ ○宮入圭一(信州大) OME2007-75 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2007-75 |
抄録 |
(和) |
ガラス基板上にスピンコート法によりポリイミド薄膜を作成し、静電容量型の湿度センサを作製した。ポリイミド薄膜の誘電特性を周波数、温度、湿度依存性を詳細に調査し、薄膜内の水分の分散状態を理論的観点から検討した。さらに、透湿度の評価性能を知るために、PETフィルムを用い透湿度を計測し、通常利用されているモコン法と測定結果を比較したところ、ポリイミド薄膜が高感度湿度センサとして機能することが判明した。 |
(英) |
Thin polyimide films were spin coated on a glass substrate to fabricate humidity sensors, which were applied to measure the vapor transmission rate of plastic films. The dielectric properties of polyimide films were investigated by measuring frequency, humidity and, temperature dependences. A state of water absorbed in a polyimide film was discussed from the physical point of view. This method proposed in this report was compared with a conventional MOCON method by using PET films. A high sensitive response to the humidity was proved. |
キーワード |
(和) |
ポリイミド / センサ / 湿度 / 薄膜 / / / / |
(英) |
Polyimide / Sensor / Humidity / Thin film / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 459, OME2007-75, pp. 7-12, 2008年1月. |
資料番号 |
OME2007-75 |
発行日 |
2008-01-18 (OME) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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