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講演抄録/キーワード
講演名 2008-01-25 13:00
プラスチックフィルムの透湿度計測センサ ~ ポリイミド薄膜方式 ~
宮入圭一信州大OME2007-75 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2007-75
抄録 (和) ガラス基板上にスピンコート法によりポリイミド薄膜を作成し、静電容量型の湿度センサを作製した。ポリイミド薄膜の誘電特性を周波数、温度、湿度依存性を詳細に調査し、薄膜内の水分の分散状態を理論的観点から検討した。さらに、透湿度の評価性能を知るために、PETフィルムを用い透湿度を計測し、通常利用されているモコン法と測定結果を比較したところ、ポリイミド薄膜が高感度湿度センサとして機能することが判明した。 
(英) Thin polyimide films were spin coated on a glass substrate to fabricate humidity sensors, which were applied to measure the vapor transmission rate of plastic films. The dielectric properties of polyimide films were investigated by measuring frequency, humidity and, temperature dependences. A state of water absorbed in a polyimide film was discussed from the physical point of view. This method proposed in this report was compared with a conventional MOCON method by using PET films. A high sensitive response to the humidity was proved.
キーワード (和) ポリイミド / センサ / 湿度 / 薄膜 / / / /  
(英) Polyimide / Sensor / Humidity / Thin film / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 459, OME2007-75, pp. 7-12, 2008年1月.
資料番号 OME2007-75 
発行日 2008-01-18 (OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OME2007-75 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2007-75

研究会情報
研究会 OME  
開催期間 2008-01-25 - 2008-01-25 
開催地(和) 愛知工業大学 
開催地(英) Aichi Institute of Technology 
テーマ(和) 有機材料・一般 
テーマ(英) Organic Materials 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2008-01-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) プラスチックフィルムの透湿度計測センサ 
サブタイトル(和) ポリイミド薄膜方式 
タイトル(英) Sensor for Measurement of Water Vapor Transmission Rate of Plastic Films 
サブタイトル(英) Thin Polyimide Film Method 
キーワード(1)(和/英) ポリイミド / Polyimide  
キーワード(2)(和/英) センサ / Sensor  
キーワード(3)(和/英) 湿度 / Humidity  
キーワード(4)(和/英) 薄膜 / Thin film  
キーワード(5)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮入 圭一 / Keiichi Miyairi / ミヤイリ ケイイチ
第1著者 所属(和/英) 信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ)
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講演者 第1著者 
発表日時 2008-01-25 13:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OME 
資料番号 OME2007-75 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.459 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数
発行日 2008-01-18 (OME) 


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