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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-02-26 13:00 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いたSiC単結晶の基礎音響特性評価 ○大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一（東北大）・Boris M. Epelbaum・Albrecht Winnacker（Univ. Erlangen-Nuremberg）  US2007-113 |
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| 抄録 | （和） | 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いて、6H-SiC単結晶の基礎音響特性の評価と音響関連物理定数の決定を行った。まず、バルク波音速のみを用いて六方晶系のSiC単結晶の音響関連物理定数の決定法について理論的に検討した。その結果、Y-cut, Z-cut, および２枚の回転Y板を用いて、４つの縦波音速、４つの横波音速の測定から全ての弾性定数および圧電定数を決定する手順を示した。次に、物理気相輸送(PVT)法により育成した6H-SiC単結晶からY-cut, Z-cut, (104)面, (105)面の試料を準備した。各試料に対して225 MHzで漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定を行なった結果、文献の定数を用いた計算値に比べ、全ての伝搬方向で61～99 m/s大きかった。50～300 MHzの範囲で縦波音速および横波音速を測定した結果、速度分散は見られず、縦波音速で118～165 m/s、横波音速で75～148 m/sだけ計算値よりも測定値が大きかった。密度はアルキメデスの原理に基づいて測定したところ、文献値よりも0.05％大きい値を得た。これらの結果と文献値の誘電率を用いて音響関連物理定数を決定した結果、最大で弾性定数c13で5%、圧電定数e33で370%の文献値との差を示した。 |
| （英） | Evaluation of basic acoustic properties of 6H-SiC single crystals and determination of their acoustical physical constants were conducted using the ultrasonic microspectroscopy technology. First of all, we theoretically investigated a method of determining the acoustical physical constants of a hexagonal SiC single crystal using only bulk wave velocities. As a result, a procedure determining all the elastic and piezoelectric constants were proposed through measurements of four longitudinal wave velocities and four shear wave velocities using Y-cut, Z-cut and two rotated Y-cut specimens. Next, we prepared Y-cut, Z-cut, (104)-plane, and (105)-plane specimens from 6H-SiC single crystals grown by the physical vapor transport (PVT) method. The leaky surface acoustic wave (LSAW) velocities measured at 225 MHz for each specimen were larger than those calculated using published constants by 61 to 99 m/s for all propagation directions. The velocities of longitudinal waves and shear waves measured for the range from 50 to 300 MHz were larger than those calculated by 118 to 165 m/s for longitudinal velocities and by 75 to 148 m/s for shear velocities exhibiting no velocity dispersions. Density was measured by the Archimedes principle resulting in 0.05% higher value than the published one. All independent elastic constants and piezoelectric constants were determined from the results obtained above and the published dielectric constants, resulting in the great differences from the published constants by 5% for elastic constant c13 at the maximum and by 370% for piezoelectric constant e33. | |
| キーワード | （和） | SiC単結晶 / 超音波マイクロスペクトロスコピー / 音響関連物理定数 / 縦波音速 / 横波音速 / 漏洩弾性表面波速度 / / |
| （英） | SiC single crystal / the ultrasonic microspectroscopy / acoustical physical constants / longitudinal wave velocity / shear wave velocity / leaky surface acoustic wave velocity / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 494, US2007-113, pp. 25-30, 2008年2月. | |
| 資料番号 | US2007-113 | |
| 発行日 | 2008-02-19 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2007-113 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2008-02-26 - 2008-02-26 |
| 開催地（和） | シャープ・市ヶ谷ビル・エルムホール |
| 開催地（英） | Elm Hall, Ichigaya Bldg., Sharp Corp. |
| テーマ（和） | アコースティックイメージング，一般 |
| テーマ（英） | Acoustic Imaging |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2008-02-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 超音波マイクロスペクトロスコピー技術を用いたSiC単結晶の基礎音響特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of Basic Acoustical Properties for SiC Single Crystals by the Ultrasonic Microspectroscopy Technology |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | SiC単結晶 / SiC single crystal |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波マイクロスペクトロスコピー / the ultrasonic microspectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | 音響関連物理定数 / acoustical physical constants |
| キーワード(4)（和/英） | 縦波音速 / longitudinal wave velocity |
| キーワード(5)（和/英） | 横波音速 / shear wave velocity |
| キーワード(6)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | Boris M. Epelbaum / Boris M. Epelbaum / Boris M. Epelbaum |
| 第4著者 所属（和/英） | University of Erlangen-Nuremberg (略称： Univ. Erlangen-Nuremberg) University of Erlangen-Nuremberg (略称： Univ. Erlangen-Nuremberg) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | Albrecht Winnacker / Albrecht Winnacker / Albrecht Winnacker |
| 第5著者 所属（和/英） | University of Erlangen-Nuremberg (略称： Univ. Erlangen-Nuremberg) University of Erlangen-Nuremberg (略称： Univ. Erlangen-Nuremberg) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-02-26 13:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2007-113 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.494 |
| ページ範囲 | pp.25-30 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-02-19 (US) |
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