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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-07-10 09:45 Self-Assembled Carbon Nanotube Network Films Field Effect Transistor for Biosensor Application ○Sunhaera Shin・Youn-Kyoung Baek・Yang-Kyu Choi・Hee-Tae Jung（KAIST）  ED2008-65 SDM2008-84 |
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| 抄録 | （和） | We investigate the electrical properties of the self-assembled carbon nanotube network films using 3-terminal field effect transistor configuration. P-type Si wafer was used as a starting substrate and 50nm thickness of SiO2 was deposited by PECVD. Self-assembled monolayer (SAM) with amine-terminated molecules was deposited on SiO2 surface to enhance adhesion of the CNT films on the substrate. After the surface modification, semiconducting single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) dispersed on dimethylformamide (DMF) solution was immobilized on the substrate to make CNT network films over a large surface area. To make source/drain Au electrodes, evaporation and lift-off process was performed by using a conventional photolithographic method. As a result, this device showed electrical behavior of p-type FET with Ion/Ioff of 104, which is promising for their potential applications as bio-sensing devices. |
| （英） | We investigate the electrical properties of the self-assembled carbon nanotube network films using 3-terminal field effect transistor configuration. P-type Si wafer was used as a starting substrate and 50nm thickness of SiO2 was deposited by PECVD. Self-assembled monolayer (SAM) with amine-terminated molecules was deposited on SiO2 surface to enhance adhesion of the CNT films on the substrate. After the surface modification, semiconducting single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) dispersed on dimethylformamide (DMF) solution was immobilized on the substrate to make CNT network films over a large surface area. To make source/drain Au electrodes, evaporation and lift-off process was performed by using a conventional photolithographic method. As a result, this device showed electrical behavior of p-type FET with Ion/Ioff of 104, which is promising for their potential applications as bio-sensing devices. | |
| キーワード | （和） | Carbon nanotube / Field effect transistor / Biosensor / Schottky device / DNA / Label-free / / |
| （英） | Carbon nanotube / Field effect transistor / Biosensor / Schottky device / DNA / Label-free / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 122, SDM2008-84, pp. 135-137, 2008年7月. | |
| 資料番号 | SDM2008-84 | |
| 発行日 | 2008-07-02 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2008-65 SDM2008-84 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2008-07-09 - 2008-07-11 |
| 開催地（和） | かでる２・７（札幌） |
| 開催地（英） | Kaderu２・７ |
| テーマ（和） | 第16回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2008) |
| テーマ（英） | 2008 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2008-07-SDM-ED |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Self-Assembled Carbon Nanotube Network Films Field Effect Transistor for Biosensor Application |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Carbon nanotube / Carbon nanotube |
| キーワード(2)（和/英） | Field effect transistor / Field effect transistor |
| キーワード(3)（和/英） | Biosensor / Biosensor |
| キーワード(4)（和/英） | Schottky device / Schottky device |
| キーワード(5)（和/英） | DNA / DNA |
| キーワード(6)（和/英） | Label-free / Label-free |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | Sunhaera Shin / Sunhaera Shin / |
| 第1著者 所属（和/英） | Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | Youn-Kyoung Baek / Youn-Kyoung Baek / |
| 第2著者 所属（和/英） | Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | Yang-Kyu Choi / Yang-Kyu Choi / |
| 第3著者 所属（和/英） | Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | Hee-Tae Jung / Hee-Tae Jung / |
| 第4著者 所属（和/英） | Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) Korea Advanced Institute of Science and Technology (略称： KAIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-07-10 09:45:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | ED2008-65, SDM2008-84 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.121(ED), no.122(SDM) |
| ページ範囲 | pp.135-137 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2008-07-02 (ED, SDM) |
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