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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-07-11 13:35 Electrical Properties of Highly Crystallized Ge:H Thin Films Grown from VHF Inductively-Coupled Plasma of H2-diluted GeH4 ○Hirotaka Kaku・Katsunori Makihara・Mitsuhisa Ikeda・Seiichiro Higashi・Seiichi Miyazaki（Hiroshima Univ.）  ED2008-90 SDM2008-109 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | Formation of highly crystallized Ge films on quartz substrate from VHF-ICP of GeH4 and electrical properties of the films have been investigated. From the Hall measurements, we found that the films show p-type conduction and that carrier concentrations for the films of 92 and 98% in the crystallinity are 2.9 e19 and 5.7 e18cm-3, respectively. In addition, we observed a carrier mobility of 22cm2/Vs for the film with 98% crystallinity, which is ~2 times higher compared to 12cm2/Vs of 92% case. This result suggests that defects in the films play a role on carrier type and transport properties. | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | Ge / VHF / carrier concentration / defect / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 122, SDM2008-109, pp. 271-274, 2008年7月. | |
| 資料番号 | SDM2008-109 | |
| 発行日 | 2008-07-02 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2008-90 SDM2008-109 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2008-07-09 - 2008-07-11 |
| 開催地（和） | かでる２・７（札幌） |
| 開催地（英） | Kaderu２・７ |
| テーマ（和） | 第16回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2008) |
| テーマ（英） | 2008 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2008-07-SDM-ED |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrical Properties of Highly Crystallized Ge:H Thin Films Grown from VHF Inductively-Coupled Plasma of H2-diluted GeH4 |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / Ge |
| キーワード(2)（和/英） | / VHF |
| キーワード(3)（和/英） | / carrier concentration |
| キーワード(4)（和/英） | / defect |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加久 博隆 / Hirotaka Kaku / カク ヒロタカ |
| 第1著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 牧原 克典 / Katsunori Makihara / マキハラ カツノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池田 弥央 / Mitsuhisa Ikeda / イケダ ミツヒサ |
| 第3著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 東 清一郎 / Seiichiro Higashi / ヒガシ セイイチロウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮崎 誠一 / Seiichi Miyazaki / ミヤザキ セイイチ |
| 第5著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-07-11 13:35:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | ED2008-90, SDM2008-109 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.121(ED), no.122(SDM) |
| ページ範囲 | pp.271-274 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2008-07-02 (ED, SDM) |
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