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講演抄録/キーワード
講演名 2008-07-24 14:15
μmスケールのNb-SIS接合とNbTiN-マイクロストリップ線路がそれぞれ水晶基板に直接接する構造を有するSISミクサ素子
遠藤 光東大/国立天文台/学振)・野口 卓クロッグ マティアス国立天文台)・シトフ セルゲイ国立天文台/高周波電子工学研)・単 文磊紫金山天文台)・田村友範国立天文台)・小嶋崇文国立天文台/阪府大)・鵜沢佳徳酒井 剛国立天文台)・井上裕文東大/国立天文台)・河野孝太郎東大SCE2008-17 エレソ技報アーカイブへのリンク:SCE2008-17
抄録 (和) SIS接合と薄膜伝送線路に異なる材料を採用したSIS素子の、新しい構造と製法について報告する。このSIS素子の構造上の特徴は、「$\mu$m スケールのSIS接合」と「伝送線路のグランドプレーン」の両方が、ウエハ上に直接成膜されている点である。この構造を採用したSIS素子は、SIS接合の特性がグランドプレーンの物性の影響を受けにくいなど、いくつかのユニークな特長を持つ。マイクロ波シミュレーションの結果、この素子の高周波損失はSIS接合とグランドプレーンの距離や、接合のトンネル抵抗率などに依存することが示唆された。また、Nb/Al-AlN/Nb SIS接合とNbTiNグランドプレーンなどの組み合わせで、例えば臨界電流密度$J_c=4 kA cm^{-2}$、サブギャップ/常伝導抵抗比 $R_{sg}/R_{N}=28$という良好なdc I(V)特性を得ている。 
(英) A new structure and fabrication process for multi-material THz-SIS mixers is proposed. In this design, both the micrometer-sized SIS trilayers (MTLs: micro-trilayers) and the ground plane are deposited directly onto the substrate. This structure is expected to possess a number of unique features, e.g., (1) the quality of the SIS junction is not affected by the physical nature of the ground plane film; (2) the heat can escape directly from the junction into the substrate. The influence of the MTL-structure on the junction quality and circuit characteristics have been investigated. Numerical calculation suggests that the extra rf loss around the junction can be kept small if the offset between the junction and the ground plane is less than 1 $mu$m. MTL-SIS mixers have been fabricated using Nb/Al-AlO_x(or AlN)/Nb SIS junctions and NbTiN/Al microstrip lines. The leakage current of the SIS junction can be made as small as that of the best all-Nb devices. The MTL-SIS structure will be useful in the development of future THz SIS mixers.
キーワード (和) SISミクサ / NbTiN / AlNバリア / テラヘルツ / / / /  
(英) SIS mixer / NbTiN / AlN barrier / terahertz / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 108, no. 152, SCE2008-17, pp. 13-18, 2008年7月.
資料番号 SCE2008-17 
発行日 2008-07-17 (SCE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SCE2008-17 エレソ技報アーカイブへのリンク:SCE2008-17

研究会情報
研究会 SCE  
開催期間 2008-07-24 - 2008-07-24 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg 
テーマ(和) ジョセフソン接合・材料、一般 
テーマ(英) Josephson junctions and materials, etc 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SCE 
会議コード 2008-07-SCE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) μmスケールのNb-SIS接合とNbTiN-マイクロストリップ線路がそれぞれ水晶基板に直接接する構造を有するSISミクサ素子 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A novel THz SIS mixer with a NbTiN-groundplane and SIS micro-trylayers directly grown on a quartz substrate 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) SISミクサ / SIS mixer  
キーワード(2)(和/英) NbTiN / NbTiN  
キーワード(3)(和/英) AlNバリア / AlN barrier  
キーワード(4)(和/英) テラヘルツ / terahertz  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 遠藤 光 / Akira Endo / エンドウ アキラ
第1著者 所属(和/英) 東京大学・国立天文台・学振 (略称: 東大/国立天文台/学振)
University of Tokyo / National Astronomical Observatory of Japan / JSPS Research Fellow (略称: Univ. of Tokyo, NAOJ, JSPS Research Fellow)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 野口 卓 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ
第2著者 所属(和/英) 国立天文台 (略称: 国立天文台)
National Astronomical Obervatory of Japan (略称: NAOJ)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) クロッグ マティアス / Matthias Kroug / クロッグ マティアス
第3著者 所属(和/英) 国立天文台 (略称: 国立天文台)
National Astronomical Obervatory of Japan (略称: NAOJ)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) シトフ セルゲイ / Sergey V. Shitov / シトフ セルゲイ
第4著者 所属(和/英) 国立天文台 (略称: 国立天文台/高周波電子工学研)
National Astronomical Obervatory of Japan (略称: NAOJ)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 単 文磊 / Shan Wenlei / シャン ウェンレイ
第5著者 所属(和/英) 紫金山天文台 (略称: 紫金山天文台)
Purple Mountain Observatory (略称: PMO)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 田村 友範 / Tomonori Tamura / タムラ トモノリ
第6著者 所属(和/英) 国立天文台 (略称: 国立天文台)
National Astronomical Obervatory of Japan (略称: NAOJ)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 小嶋 崇文 / Takafumi Kojima / コジマ タカフミ
第7著者 所属(和/英) 大阪府立大学 (略称: 国立天文台/阪府大)
Osaka Prefectural University (略称: Osaka Pref. Univ.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 鵜沢 佳徳 / Yoshinori Uzawa / ウザワ ヨシノリ
第8著者 所属(和/英) 国立天文台 (略称: 国立天文台)
National Astronomical Obervatory of Japan (略称: NAOJ)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 酒井 剛 / Takeshi Sakai / サカイ タケシ
第9著者 所属(和/英) 国立天文台 (略称: 国立天文台)
National Astronomical Obervatory of Japan (略称: NAOJ)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 井上 裕文 / Hirofumi Inoue / イノウエ ヒロフミ
第10著者 所属(和/英) 東京大学・国立天文台 (略称: 東大/国立天文台)
University of Tokyo, National Astronomical Observatory of Japan (略称: Univ. of TokyoNAOJ)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 河野 孝太郎 / Kotaro Kohno /
第11著者 所属(和/英) 東京大学 (略称: 東大)
University of Tokyo (略称: Univ. of Tokyo)
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講演者 第1著者 
発表日時 2008-07-24 14:15:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 SCE 
資料番号 SCE2008-17 
巻番号(vol) vol.108 
号番号(no) no.152 
ページ範囲 pp.13-18 
ページ数
発行日 2008-07-17 (SCE) 


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