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講演抄録/キーワード
講演名 2008-08-04 13:25
電子ビーム誘起堆積法を用いて作製したPtナノ結晶冷陰極からの縞状電子放出パターンの観測
村上勝久西原慎二松原直樹市川 聡若家冨士男高井幹夫阪大ED2008-110 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2008-110
抄録 (和) 電子ビーム誘起堆積法を用いて作製したPt冷陰極にアニール処理を施すことによって、先端に10 nmのギャップをもつ冷陰極を作製した。作製したPt冷陰極の電子放射パターンを電界放射顕微鏡を用いて評価を行い、縞状の電子放出パターンを観測した。縞状の電子放出パターンは二つの方形開口からのフラウンホーファ回折モデルでの計算結果と良い一致を示した。これらの結果は、隣接2点から放射した電子波が干渉した可能性を示唆している。 
(英) Pt field emitter with two adjacent emission sites of a gap size of less than 10 nm was fabricated using electron-beam-induced deposition followed by annealing. The emission patterns of electrons from the two adjacent sites were observed by field-emission microscopy at room temperature and 100 K. The striped emission patterns, corresponding to the interference fringes by electron waves in field emission, were observed for the first time. The fringe-like electron-emission patterns in this experiment were found to be in a good agreement with those of the Young’s interference from the two emission sites.
キーワード (和) 電子ビーム誘起堆積 / 電界放射顕微鏡 / 電子波干渉 / / / / /  
(英) Electron Beam Induced Deposition (EBID) / Field Emission Microscope (FEM) / Electron Wave Interference / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 108, no. 177, ED2008-110, pp. 5-10, 2008年8月.
資料番号 ED2008-110 
発行日 2008-07-28 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2008-110 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2008-110

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2008-08-04 - 2008-08-05 
開催地(和) 静岡大学浜松キャンパス 
開催地(英) Sizuoka Univ. Hamamatsu Campus 
テーマ(和) 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2008-08-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 電子ビーム誘起堆積法を用いて作製したPtナノ結晶冷陰極からの縞状電子放出パターンの観測 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Observation of fringelike electron emission pattern from Pt nanocrystalline field emitter fabricated by electron-beam-induced deposition 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 電子ビーム誘起堆積 / Electron Beam Induced Deposition (EBID)  
キーワード(2)(和/英) 電界放射顕微鏡 / Field Emission Microscope (FEM)  
キーワード(3)(和/英) 電子波干渉 / Electron Wave Interference  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 村上 勝久 / Katsuhisa Murakami / ムラカミ カツヒサ
第1著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 西原 慎二 / Shinji Nishihara / ニシハラ シンジ
第2著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 松原 直樹 / Naoki Matsubara / マツバラ ナオキ
第3著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 市川 聡 / Satoshi Ichikawa / イチカワ サトシ
第4著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 若家 冨士男 / Fujio Wakaya / ワカヤ フジオ
第5著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 高井 幹夫 / Mikio Takai / タカイ ミキオ
第6著者 所属(和/英) 大阪大学 (略称: 阪大)
Osaka University (略称: Osaka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2008-08-04 13:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2008-110 
巻番号(vol) vol.108 
号番号(no) no.177 
ページ範囲 pp.5-10 
ページ数
発行日 2008-07-28 (ED) 


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