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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-08-28 11:25 AD法によるEO/MO材料を用いた小型高速光素子 ○中田正文（NEC/MIRAI-Selete）・清水隆徳（MIRAI-Selete）・岩波瑞樹（NEC）・大橋啓之（NEC/MIRAI-Selete）・津田弘樹・明渡 純（産総研）  EMD2008-34 CPM2008-49 OPE2008-64 LQE2008-33 |
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| 抄録 | （和） | 微細結晶粒の再配列により膜を形成するエアロゾルデポジション（AD）法は、原子レベルから膜を形成する従来のスパッタ法などとは異なったユニークな膜形成である。AD法を光デバイス形成に適用した場合の利点として、膜形成において原材料の結晶構造が維持されるため、光素子をシリコンやSiO2上に直接形成することが挙げられる。このAD法による光素子の応用例として、超小型高速変調器と光ファイバ電磁界センサーについて報告する。 |
| （英） | We develop functional oxide films with a large electro-optic (EO) effect for use in very small, low-power EO conversion devices. We have applied an aerosol deposition (AD) to forming lead oxide films with a perovskite structure. (Pb,La)(Zr,Ti)O3 films were deposited and systematically studied in terms of optical and EO properties. Transparent films, which have acceptable transmittance loss level for use as optical devices, with large EO effect were obtained. In this report, we summarize resent progress and future prospects on AD for optical devices application. | |
| キーワード | （和） | エアロゾルデポジション（AD） / EO効果 / MO効果 / 光変調器 / 光ファイバ電磁界センサー / / / |
| （英） | Aerosol deposition / EO effect / MO effect / Optical modulator / Optical fiber edge sensor / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 193, OPE2008-64, pp. 11-14, 2008年8月. | |
| 資料番号 | OPE2008-64 | |
| 発行日 | 2008-08-21 (EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2008-34 CPM2008-49 OPE2008-64 LQE2008-33 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE CPM EMD OPE |
| 開催期間 | 2008-08-28 - 2008-08-29 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Touhoku Univ. |
| テーマ（和） | 光・電子デバイス実装，デバイス技術，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2008-08-LQE-CPM-EMD-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | AD法によるEO/MO材料を用いた小型高速光素子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optical Device Application of EO/MO Materials by Aerosol Deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | エアロゾルデポジション（AD） / Aerosol deposition |
| キーワード(2)（和/英） | EO効果 / EO effect |
| キーワード(3)（和/英） | MO効果 / MO effect |
| キーワード(4)（和/英） | 光変調器 / Optical modulator |
| キーワード(5)（和/英） | 光ファイバ電磁界センサー / Optical fiber edge sensor |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中田 正文 / Masafumi Nakada / ナカダ マサフミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社,/MIRAI-Selete (略称： NEC/MIRAI-Selete) NEC Corpotation/MIRAI-Selete (略称： NEC Corp./MIRAI-Selete) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 隆徳 / Takanori Shimizu / シミズ タカノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | MIRAI-Selete (略称： MIRAI-Selete) MIRAI-Selete (略称： MIRAI-Selete) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩波 瑞樹 / Mizuki Iwanami / イワナミ ミズキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社 (略称： NEC) NEC Corpotation (略称： NEC Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 啓之 / Keishi Ohashi / オオハシ ケイシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社,/MIRAI-Selete (略称： NEC/MIRAI-Selete) NEC Corpotation/MIRAI-Selete (略称： NEC Corp./MIRAI-Selete) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 津田 弘樹 / Hiroki Tsuda / ツダ ヒロキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 明渡 純 / Jun Akedo / アケド ジュン |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-08-28 11:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | EMD2008-34, CPM2008-49, OPE2008-64, LQE2008-33 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.191(EMD), no.192(CPM), no.193(OPE), no.194(LQE) |
| ページ範囲 | pp.11-14 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2008-08-21 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
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