講演抄録/キーワード |
講演名 |
2008-10-30 14:25
Nb集積回路における平行線路間の相互インダクタンス評価 ○河合章生・柏 竜太・守屋雅隆・小林忠行・水柿義直(電通大) SCE2008-26 エレソ技報アーカイブへのリンク:SCE2008-26 |
抄録 |
(和) |
我々は,同一の配線層に形成された平行線路間の相互インダクタンスについて,テスト回路による実験と数値計算による評価を行った.実験では,SRLニオブ標準プロセスを用いてテスト回路を作製した.数値計算には,3次元インダクタンス抽出プログラム”FastHenry”を使用した.評価した回路は上部グラウンドプレーンの有無と上部下部グラウンドプレーン間の接地の有無により3種類の構造に分けられる.結果,線路構造の違いにより相互インダクタンスの線路中心間距離に対する依存性が異なることが明らかとなった.これについては,伝送線路内の電流・磁場強度分布の違いにより説明できた.また,接地を行わないストリップライン構造において,上部グラウンドプレーン幅が大きいほど相互インダクタンスが減少することが分かった.さらに,接地を行ったストリップライン構造において,接地位置が線路端に近いとき,相互インダクタンスが極小となることが分かった. |
(英) |
We evaluate mutual inductance between two parallely-placed strip lines by means of both experiments and numerical calculation. Test circuits fabricated using the SRL Nb standard process was used to measure the mutual inductances, whereas a three-dimensional inductance extraction program FastHenry was employed for calculation. Three types of strip line structures were examined: two microstrip lines without an upper ground plane (GP), two strip lines with a floating upper GP, and two strip lines with an upper GP connected to a lower GP. Each strip line structure has different dependence of mutual inductance on the line center distance, which is explained by using current and magnetic field distribution in each structure. We have found that the mutual inductance in the second line structure decreases with increasing width of the upper GP, and that the mutual inductance in the third line structure becomes its minimum when the contacts between the upper and lower GPs are placed close to the line edges. |
キーワード |
(和) |
マイスナー効果 / ニオブ / FastHenry / 超伝導量子干渉素子 / ストリップライン / 相互インダクタンス / / |
(英) |
Meissner effect / niobium / FastHenry / SQUID / stripline / mutual inductance / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 268, SCE2008-26, pp. 23-28, 2008年10月. |
資料番号 |
SCE2008-26 |
発行日 |
2008-10-23 (SCE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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