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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-11-21 17:15 高異方性磁界を有する結晶質FeCoB裏打ち軟磁性層上の垂直グラニュラー膜の配向制御 ○松鵜利光・平田健一郎・橋本篤人（東工大）・松沼 悟・井上鉄太郎・土井嗣裕（日立マクセル）・中川茂樹（東工大）  MR2008-36 エレソ技報アーカイブへのリンク：MR2008-36 |
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| 抄録 | （和） | CoPtCr-SiO2垂直グラニュラー媒体の結晶性裏打ち軟磁性層としてbcc-FeCo(110)配向したFeCoB膜を利用した．このFeCoB膜の下地層として，Ru膜やSi/NiFe膜を導入することで高い面内一軸磁気異方性を有することやFeCoの結晶性が変化することが確認されており，これが中間層Ruに与える影響を調査した．bcc-FeCo(110)配向膜上にRu/CoPtCr-SiO2膜を堆積させることで，裏打ち層なしではランダム配向を示したRu層が(001)優先配向を示し，CoPtCrの(001)配向と垂直磁化することが確認された．Ru中間層の膜厚を変化し，FeCo(110)の結晶性を向上させることで，Ru中間層の薄膜化の可能性が示唆された． |
| （英） | FeCoB films with a bcc(110) crystalline orientation were prepared as crystalline soft magnetic underlayers (SULs) for CoPtCr-SiO2 perpendicular magnetic recording media. Ru layers and Si/NiFe layers as underlayers of FeCoB layers were introduced in order to enhance high in-plane anisotropy field and change a bcc-FeCo (110) orientation. The effect of FeCoB crystalline SULs on Ru intermediate layers was investigated. Ru/CoPtCr-SiO2 films deposited on the bcc-FeCo (110) oriented FeCoB films exhibited (001) preferential orientations of the CoPtCr as well as the (001) orientation of Ru intermediate layer and possessed perpendicular magnetic anisotropy of the recording layer. It is indicated that the application of a crystalline SUL and the improvement of a bcc-FeCo (110) orientation in the SUL promote the reduction of the intermediate layer thickness. | |
| キーワード | （和） | 結晶性FeCoB裏打ち軟磁性層 / 異方性磁界 / Ru中間層 / bcc-FeCo(110)配向 / hcp-Ru(001)配向 / / / |
| （英） | crystalline soft magnetic underlayer / anisotropy field / Ru intermediate layer / bcc-FeCo(110) orientation / hcp-Ru(001) orientation / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, 2008年11月. | |
| 資料番号 | ||
| 発行日 | 2008-11-14 (MR) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MR2008-36 エレソ技報アーカイブへのリンク：MR2008-36 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS ITE-MMS |
| 開催期間 | 2008-11-21 - 2008-11-21 |
| 開催地（和） | 早稲田大学 |
| 開催地（英） | Waseda University |
| テーマ（和） | ハードディスクドライブおよび一般 |
| テーマ（英） | HDD and general |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MRIS |
| 会議コード | 2008-11-MR-MMS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 高異方性磁界を有する結晶質FeCoB裏打ち軟磁性層上の垂直グラニュラー膜の配向制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystallites orientation of granular perpendicular magnetic recording media on FeCoB soft magnetic underlayer with high anisotropy field |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 結晶性FeCoB裏打ち軟磁性層 / crystalline soft magnetic underlayer |
| キーワード(2)（和/英） | 異方性磁界 / anisotropy field |
| キーワード(3)（和/英） | Ru中間層 / Ru intermediate layer |
| キーワード(4)（和/英） | bcc-FeCo(110)配向 / bcc-FeCo(110) orientation |
| キーワード(5)（和/英） | hcp-Ru(001)配向 / hcp-Ru(001) orientation |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松鵜 利光 / Toshimitsu Matsuu / マツウ トシミツ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平田 健一郎 / Ken-ichiro Hirata / ヒラタ ケンイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋本 篤人 / Atsuto Hashimoto / ハシモト アツト |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松沼 悟 / Satoshi Matsunuma / マツヌマ サトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日立マクセル株式会社 (略称： 日立マクセル) Hitachi Maxell, Ltd. (略称： Hitachi Maxell) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井上 鉄太郎 / Tetsutaro Inoue / イノウエ テツタロウ |
| 第5著者 所属（和/英） | 日立マクセル株式会社 (略称： 日立マクセル) Hitachi Maxell, Ltd. (略称： Hitachi Maxell) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 土井 嗣裕 / Tsugihiro Doi / ドイ ツギヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 日立マクセル株式会社 (略称： 日立マクセル) Hitachi Maxell, Ltd. (略称： Hitachi Maxell) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中川 茂樹 / Shigeki Nakagawa / ナカガワ シゲキ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-11-21 17:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MRIS |
| 資料番号 | MR2008-36 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.313 |
| ページ範囲 | pp.37-42 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2008-11-14 (MR) |
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