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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2008-12-11 13:30 ［ポスター講演］ミリ波帯におけるオンチップキャパシタのデバイスモデル ○夏苅洋平・藤島 実（東大）  ICD2008-104 |
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| 抄録 | （和） | 集積回路の微細化によってトランジスタの動作周波数が高くなり、30GHz以上のミリ波帯のアナログ回路が注目を集めるようになってきている。このような高周波においてはデバイス特性に対する寄生成分の寄与が大きくなり、単体デバイスの測定を行う際にパッドの影響を取り除くディエンベディングを正確に実施することが困難になる。特に、キャパシタの直列抵抗のような小さな成分の評価の際に従来のオープン・ショートディエンベディングを用いると、オープンパターンやショートパターンの寄生インピーダンスにより大きな誤差が生じてしまう。そこで、スルーパターンだけを用いるディエンベディング法をキャパシタに適用した。その結果、オープン・ショート法では80GHz付近から負になり正しく評価できなかったキャパシタの直列抵抗値が、110GHzまで評価できることを確認した。 |
| （英） | Recently, due to advanced technology on the transistor miniaturization, the operating frequency of integrated circuits is increased up to millimeter-wave band more than 30GHz. However, in such a high frequency, it is difficult to evaluate characteristics of a single device accurately due to the influences of the parasitic elements. In particular, for evaluation of a series resistance of an on-chip capacitor, conventional open-short de-embedding method cannot be applied because the parasitic impedances of an open dummy pattern and a short dummy pattern make large error in de-embedding. In this paper, thru-only de-embedding is applied to a capacitor, and the series resistance of a on-chip comb capacitor is successfully evaluated up to 110GHz, while conventional open-short de-embedding cannot be applied more than 80GHz. | |
| キーワード | （和） | ミリ波 / 櫛形容量 / ディエンベディング / デバイスモデル / / / / |
| （英） | millimeter-wave / comb capacitor / de-embed / device modeling / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 347, ICD2008-104, pp. 23-25, 2008年12月. | |
| 資料番号 | ICD2008-104 | |
| 発行日 | 2008-12-04 (ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2008-104 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
| 開催期間 | 2008-12-11 - 2008-12-12 |
| 開催地（和） | 東工大（大岡山）国際交流会館 |
| 開催地（英） | Tokyo Inst. Tech., Ohokayama Campus, Kokusa-Kouryu-Kaikan |
| テーマ（和） | 学生・若手研究会 |
| テーマ（英） | Workshop for Graduate Student and Young Researchers |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2008-12-ICD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ミリ波帯におけるオンチップキャパシタのデバイスモデル |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Device Modeling of On-Chip Capacitors for Millimeter-Wave Applications |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミリ波 / millimeter-wave |
| キーワード(2)（和/英） | 櫛形容量 / comb capacitor |
| キーワード(3)（和/英） | ディエンベディング / de-embed |
| キーワード(4)（和/英） | デバイスモデル / device modeling |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 夏苅 洋平 / Youhei Natsukari / ナツカリ ヨウヘイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Tokyo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤島 実 / Minoru Fujishima / |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京大学 (略称： 東大) University of Tokyo (略称： Tokyo Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2008-12-11 13:30:00 |
| 発表時間 | 165分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2008-104 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.347 |
| ページ範囲 | pp.23-25 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2008-12-04 (ICD) |
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