| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2008-12-11 15:20
AFMナノリソグラフィによる導電性高分子前駆体の局所表面形状操作 ○小柳遼平・馬場 暁・大平泰生・新保一成・加藤景三・金子双男(新潟大)・ジャン グオシャン・アドビンクラ リゴベルト(ヒューストン大) OME2008-81 |
| 抄録 |
(和) |
導電性高分子は伸縮性やドーピング効果などの様々な特徴を持ち、電子デバイスへの応用が期待されている。一方、このような電子デバイスのさらなる高集積化、高速化を目指すには微細加工技術の発展が必要不可欠である。本研究では、AFMを用いてカルバゾール前駆体ポリマー薄膜に局所的に電圧を印加することにより、エレクトロアクティブなペンダントモノマーであるカルバゾールの重合(架橋)、ドーピングを試みた。また、その時の表面形状の変化をAFMにより評価を行なった。薄膜の処理条件を変えて表面形状を観察した結果、走査速度が遅く、印加電圧が大きくなるほど表面形状の変化が大きくなる傾向があることが分かった。また、AFMで局所処理を行なった部分の導電率の変化も観察された。 |
| (英) |
In this study, atomic force microscope (AFM) nanolithography was used in order to manipulate the surface morphology of carbazole precursor dendron polymer thin films. The precursor films were prepared by spin-coating method on evaporated gold thin films. The bias voltages were applied between the conducting AFM cantilever and gold thin films, generating the cross-linking of electroactive pendant carbazole monomers present in the films. This was attributed the electrochemical ion transport, which was assisted by water meniscus and residual mobile ions in the film. The raised morphology was observed after the application of bias voltages. An increase in height change was observed as applied voltages increased, while it was decreased as the scanning speed was increased. |
| キーワード |
(和) |
AFM / ナノリソグラフィ / カルバゾール前駆体 / 導電性高分子 / / / / |
| (英) |
AFM / Nanolithography / Carbazole Precursor / Conducting Polymer / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 108, no. 348, OME2008-81, pp. 29-32, 2008年12月. |
| 資料番号 |
OME2008-81 |
| 発行日 |
2008-12-04 (OME) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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