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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-01-23 15:45 電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成 ○坪田敏樹・濱山知勇・村上直也・横野照尚（九工大）・末永知子（熊本県産技センター）・長畑博之（サンユー）  EMD2008-117 |
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| 抄録 | （和） | 導電性ダイヤモンドを電気接触子に応用することを考えた。導電性CVD ダイヤモンド膜をタングス テン基板表面に合成した。その試料の表面形態、膜厚、電気抵抗値などを測定した。合成された膜の表面は、凹凸 があり、電気接触子に好ましい形状であった。膜厚の合成時間依存性を測定した結果から、ダイヤモンドが析出す るまでに炭化物層が形成されていることが示唆される。XRD 測定の結果から、析出物にダイヤモンド相が含まれて いることが確認できた。押し付けた状態での電気抵抗値を測定した結果、未処理のタングステン基板と同程度かそ れ以下の電気抵抗値を示した。今後、更なる詳細な実験が必要である。 |
| （英） | We try to use electroconductive CVD diamond film as the material for electrical contact. Electroconductive CVD diamond film was synthesized on W plate. Surface morphology, thickness of the deposit, electrical resistance, and so on were measured. The surface morphology should be suitable for electrical contact. Before the deposition of diamond layer, carbide should be synthesized on the substrate. The electrical resistance at pressed condition was measured, and the values were similar to that of W plate, which is the substrate of this CVD process. |
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| キーワード | （和） | 電気接触子 / ダイヤモンド / コンタクト材料 / テスト工程 / / / / |
| （英） | electrical contact / diamond / contact material / test process / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 404, EMD2008-117, pp. 21-25, 2009年1月. | |
| 資料番号 | EMD2008-117 | |
| 発行日 | 2009-01-16 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2008-117 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2009-01-23 - 2009-01-23 |
| 開催地（和） | ゆとりうむ日立（横浜） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2009-01-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Synthesis of electroconductive diamond film for application as electrical contact |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電気接触子 / electrical contact |
| キーワード(2)（和/英） | ダイヤモンド / diamond |
| キーワード(3)（和/英） | コンタクト材料 / contact material |
| キーワード(4)（和/英） | テスト工程 / test process |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坪田 敏樹 / Toshiki Tsubota / ツボタ トシキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 九州工業大学 (略称： 九工大) Kyushu Institute of Technology (略称： Kyushu Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 濱山 知勇 / Tomoo Hamayama / ハマヤマ トモオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 九州工業大学 (略称： 九工大) Kyushu Institute of Technology (略称： Kyushu Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村上 直也 / Naoya Murakami / ムラカミ ナオヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 九州工業大学 (略称： 九工大) Kyushu Institute of Technology (略称： Kyushu Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 横野 照尚 / Teruhisa Ohno / オウノ テルヒサ |
| 第4著者 所属（和/英） | 九州工業大学 (略称： 九工大) Kyushu Institute of Technology (略称： Kyushu Inst. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 末永 知子 / Tomoko Suenaga / スエナガ トモコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 熊本県産業技術センター (略称： 熊本県産技センター) Kumamoto Industrial Research Institute (略称： Kumamoto Ind Res Inst.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長畑 博之 / Hiroyuki Nagahata / ナガハタ ヒロユキ |
| 第6著者 所属（和/英） | サンユー工業株式会社 (略称： サンユー) Sanyu Swithch Co. Ltd. (略称： Sanyu Switch Co., Ltd.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-01-23 15:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2008-117 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.404 |
| ページ範囲 | pp.21-25 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-01-16 (EMD) |
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