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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-03-06 13:05 金属表面酸化膜の構造に関する考察 ～ 銅とアルミニウム ～ ○阿部達哉・熱海 修・箕輪 功（玉川大）  EMD2008-134 |
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| 抄録 | （和） | 電線や接触端子などに広く用いられている銅材、及び軽量さゆえに用いられるようになった車載搭載用のアルミ材の表面の酸化膜の構造について、接触抵抗の測定およびオージェ電子分光法から検討考察した。銅表面についてはこれまでの過去のデータからは、酸化膜厚の増加に対して接触抵抗のグラフが単調増加せず振動的に増加する傾向が見られている。今回は酸化・接触抵抗測定・酸化・接触抵抗測定という連続的な手法により接触抵抗の膜厚依存性を調べ、その後表面の元素分析を行った。アルミニウムについては、結晶方向の異なる試料を自然酸化させた表面の接触抵抗を調べ、オージェ電子分光法による元素分析結果と合わせ考察した。 |
| （英） | An analytical study for the structure of oxide film on copper surface and aluminum surface have been performed by both methods of contact resistance measurement and Auger electron spectroscopy(AES). Contact resistances were oscillatory changed as oxidation increasing for the copper sample. Difference of contact resistance between (100) and (111) shows same tendency by oxide film thickness by AES | |
| キーワード | （和） | 接触抵抗 / 銅酸化膜 / アルミニウム酸化膜 / 皮膜抵抗 / 元素分析 / / / |
| （英） | contact resistance / copper oxide film / aluminum oxide film / film resistance / AES / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 108, no. 466, EMD2008-134, pp. 1-4, 2009年3月. | |
| 資料番号 | EMD2008-134 | |
| 発行日 | 2009-02-27 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2008-134 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2009-03-06 - 2009-03-06 |
| 開催地（和） | 工学院大学 |
| 開催地（英） | Kougakuin Univ. |
| テーマ（和） | ショートノート（卒論・修論特集） |
| テーマ（英） | Short note (Graduation thesis and master's thesis) |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2009-03-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 金属表面酸化膜の構造に関する考察 |
| サブタイトル（和） | 銅とアルミニウム |
| タイトル（英） | Analytical study for copper surface and aluminum oxide films |
| サブタイトル（英） | Copper and alminium |
| キーワード(1)（和/英） | 接触抵抗 / contact resistance |
| キーワード(2)（和/英） | 銅酸化膜 / copper oxide film |
| キーワード(3)（和/英） | アルミニウム酸化膜 / aluminum oxide film |
| キーワード(4)（和/英） | 皮膜抵抗 / film resistance |
| キーワード(5)（和/英） | 元素分析 / AES |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 達哉 / Tatsuya Abe / アベ タツヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 玉川大学 (略称： 玉川大) Tamagawa University (略称： Tamagawa Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 熱海 修 / Osamu Atsumi / アツミ オサム |
| 第2著者 所属（和/英） | 玉川大学 (略称： 玉川大) Tamagawa University (略称： Tamagawa Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 箕輪 功 / Isao Minowa / ミノワ イサオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 玉川大学 (略称： 玉川大) Tamagawa University (略称： Tamagawa Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-03-06 13:05:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2008-134 |
| 巻番号（vol） | vol.108 |
| 号番号（no） | no.466 |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-02-27 (EMD) |
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