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講演抄録/キーワード
講演名 2009-04-17 13:40
AlGaInAsレーザのESD耐性
市川弘之福田智恵松川真治浜田耕太郎生駒暢之中林隆志住友電工R2009-2 CPM2009-2 OPE2009-2
抄録 (和) 高速変調、高温駆動に優れたAlGaInAsレーザではESD耐圧の報告がこれまでなかった。そこで今回我々は、AlGaInAsレーザのESD試験を実施し、1kVのESD試験での劣化率は約40%とGaInAsPレーザの0%と比較して高いことが判明した。劣化機構を分析すると、端面の活性層での光吸収による溶解が劣化要因であることが分かった。GaInAsPレーザと比較して劣化率が高い理由は、Alを含む材料系のため活性層が酸化され易く、光吸収の要因となる非発光再結合準位が増加していることが推測された。そこでESD劣化を抑制するため、レーザ端面と端面コーティングの間に金属薄膜を挟むパッシベーションを行い、非発光再結合準位の低減を図った。その結果、1kVでの劣化率が0%とESD劣化を抑制する結果を得た。 
(英) This is a report on electrostatic discharge (ESD)-induced degradation of AlGaInAs/InP laser diodes. We found that the dominant ESD-induced degradation mechanism of AlGaInAs/InP buried heterostructure laser diodes was melting of an active layer by light absorption. We obtained sufficient ESD tolerance of higher than 1kV by introduction of facet passivation.
キーワード (和) AlGaInAs / InP / ESD / / / / /  
(英) AlGaInAs / InP / ESD / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 6, R2009-2, pp. 7-10, 2009年4月.
資料番号 R2009-2 
発行日 2009-04-10 (R, CPM, OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
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研究会情報
研究会 OPE CPM R  
開催期間 2009-04-17 - 2009-04-17 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光部品の実装・信頼性、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 R 
会議コード 2009-04-OPE-CPM-R 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) AlGaInAsレーザのESD耐性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Electrostatic-Discharge Tolerance of AlGaInAs Laser Diodes 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) AlGaInAs / AlGaInAs  
キーワード(2)(和/英) InP / InP  
キーワード(3)(和/英) ESD / ESD  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 市川 弘之 / Hiroyuki Ichikawa / イチカワ ヒロユキ
第1著者 所属(和/英) 住友電気工業 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 福田 智恵 / Chie Fukuda / フクダ チエ
第2著者 所属(和/英) 住友電気工業 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 松川 真治 / Shinji Matsukawa / マツカワ シンジ
第3著者 所属(和/英) 住友電気工業 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 浜田 耕太郎 / Kotaro Hamada / ハマダ コウタロウ
第4著者 所属(和/英) 住友電気工業 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 生駒 暢之 / Nobuyuki Ikoma / イコマ ノブユキ
第5著者 所属(和/英) 住友電気工業 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中林 隆志 / Takashi Nakabayashi / ナカバヤシ タカシ
第6著者 所属(和/英) 住友電気工業 (略称: 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称: Sumitomo Electric Industries, Ltd.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-04-17 13:40:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 R 
資料番号 R2009-2, CPM2009-2, OPE2009-2 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.6(R), no.7(CPM), no.8(OPE) 
ページ範囲 pp.7-10 
ページ数
発行日 2009-04-10 (R, CPM, OPE) 


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