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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-05-22 11:10 水晶振動子マイクロバランス法を用いた有機薄膜形成過程の解析 ○伊東卓哉・久保野敦史（静岡大）  OME2009-12 |
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| 抄録 | （和） | 近年、電気・光学デバイス、保護膜、生体適合膜など幅広い分野で有機薄膜の適用が試みられている。各用途に最適な有機薄膜を作製するためには、分子設計のみならず、薄膜の構造制御も重要となり、薄膜作製パラメータの最適化と薄膜成長機構の解明が必要とされる。本研究では、水晶振動子マイクロバランスを用いて有機蒸着膜の成長過程をその場観測し、定量的な解析を試みた。その結果、蒸着挙動が基板温度などの作製パラメータの変化に非常に敏感であることがわかった。また、得られた付着量の時間変化に物理吸着を仮定した速度式の解をフィッティングする事で、蒸着分子の平均基板滞在時間を見積もった。 |
| （英） | An optimization of preparation parameters and a detailed study on growth kinetics for organic thin film are required to obtain high functional devices, coatings and sensors. In this study, the deposition behavior of organic molecules during physical vapor deposition was observed in real time by a quartz crystal microbalance technique which is widely used as a thickness monitor method. Moreover, the mean adsorption time of vapor-deposited organic molecules on substrate was estimated from the result of fitting of a theoretical rate equation based on a physisorption model to experimental data. | |
| キーワード | （和） | 水晶振動子マイクロバランス / 有機薄膜 / 真空蒸着法 / 薄膜成長 / / / / |
| （英） | Quartz crystal microbalance / Organic thin film / Physical vapor deposition / Thin film growth / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 48, OME2009-12, pp. 19-22, 2009年5月. | |
| 資料番号 | OME2009-12 | |
| 発行日 | 2009-05-15 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2009-12 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2009-05-22 - 2009-05-22 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 有機材料・薄膜・界面・デバイス／フィルムベースデバイスのための界面制御とプロセス技術 |
| テーマ（英） | Organic Materials, Thin Films, Interfaces and Devices/Interface Control and Process Technology for Film-Based Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2009-05-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 水晶振動子マイクロバランス法を用いた有機薄膜形成過程の解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of the formation of vapor-deposited organic thin films using quartz crystal microbalance |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水晶振動子マイクロバランス / Quartz crystal microbalance |
| キーワード(2)（和/英） | 有機薄膜 / Organic thin film |
| キーワード(3)（和/英） | 真空蒸着法 / Physical vapor deposition |
| キーワード(4)（和/英） | 薄膜成長 / Thin film growth |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊東 卓哉 / Takaya Ito / イトウ タカヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保野 敦史 / Atsushi Kubono / クボノ アツシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-05-22 11:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2009-12 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.48 |
| ページ範囲 | pp.19-22 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-05-15 (OME) |
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