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講演抄録/キーワード
講演名
2009-06-11 13:25
Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価
○
伊藤篤史
・
原田 憲
・
河瀬康弘
・
水谷文一
(
三菱化学
)・
原 誠
・
青木秀充
・
木村千春
・
杉野 隆
(
阪大
)
ED2009-36
エレソ技報アーカイブへのリンク:
ED2009-36
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 109, no. 81, ED2009-36, pp. 1-6, 2009年6月.
資料番号
ED2009-36
発行日
2009-06-04 (ED)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
ED2009-36
エレソ技報アーカイブへのリンク:
ED2009-36
研究会情報
研究会
ED
開催期間
2009-06-11 - 2009-06-12
開催地(和)
東京工業大学
開催地(英)
テーマ(和)
半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般
テーマ(英)
講演論文情報の詳細
申込み研究会
ED
会議コード
2009-06-ED
本文の言語
日本語
タイトル(和)
Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Evaluation of Cu-Inhibitor Residue for Post Cu-CMP Cleaning
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
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キーワード(2)(和/英)
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キーワード(3)(和/英)
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キーワード(4)(和/英)
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キーワード(5)(和/英)
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キーワード(6)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
伊藤 篤史
/
Atsushi Ito
/
イトウ アツシ
第1著者 所属(和/英)
三菱化学株式会社
(略称:
三菱化学
)
Mitsucishi Chemical Corporation
(略称:
Mitsubishi Chem.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
原田 憲
/
Ken Harada
/
ハラダ ケン
第2著者 所属(和/英)
三菱化学株式会社
(略称:
三菱化学
)
Mitsucishi Chemical Corporation
(略称:
Mitsubishi Chem.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
河瀬 康弘
/
Yasuhiro Kawase
/
カワセ ヤスヒロ
第3著者 所属(和/英)
三菱化学株式会社
(略称:
三菱化学
)
Mitsucishi Chemical Corporation
(略称:
Mitsubishi Chem.
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
水谷 文一
/
Fumikazu Mizutani
/
ミズタニ フミカズ
第4著者 所属(和/英)
三菱化学株式会社
(略称:
三菱化学
)
Mitsucishi Chemical Corporation
(略称:
Mitsubishi Chem.
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
原 誠
/
Makoto Hara
/
ハラ マコト
第5著者 所属(和/英)
大阪大学
(略称:
阪大
)
Osaka University
(略称:
Osaka Univ.
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
青木 秀充
/
Hidemitsu Aoki
/
アオキ ヒデミツ
第6著者 所属(和/英)
大阪大学
(略称:
阪大
)
Osaka University
(略称:
Osaka Univ.
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
木村 千春
/
Chiharu Kimura
/
キムラ チハル
第7著者 所属(和/英)
大阪大学
(略称:
阪大
)
Osaka University
(略称:
Osaka Univ.
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
杉野 隆
/
Takashi Sugino
/
スギノ タカシ
第8著者 所属(和/英)
大阪大学
(略称:
阪大
)
Osaka University
(略称:
Osaka Univ.
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第9著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第10著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2009-06-11 13:25:00
発表時間
25分
申込先研究会
ED
資料番号
ED2009-36
巻番号(vol)
vol.109
号番号(no)
no.81
ページ範囲
pp.1-6
ページ数
6
発行日
2009-06-04 (ED)
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