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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-06-26 11:15 Random Telegraph Signals in Two-Dimensional Array of Si Quantum Dots ○Katsunori Makihara・Mitsuhisa Ikeda・Akira Kawanami・Seiichi Miyazaki（Hiroshima Univ.）  ED2009-92 SDM2009-87 |
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| 抄録 | （和） | Silicon-quantum-dots (Si-QDs) with an areal density as high as ~1012cm-2 were self-assembled on thermally-grown SiO2 by low pressure CVD using Si2H6, in which OH-terminated SiO2 surface prior to the Si CVD was exposed to GeH4 to create nucleation sites uniformly. After thermal oxidation of Si-QDs surface, two-dimensional electronic transport through the Si-QDs array was measured with co-planar Al electrodes evaporated on the array surface. Random telegraph signals were clearly observed at constant applied bias conditions in dark condition and under light irradiation at room temperature. The result indicates the charging and discharging of a dot adjacent to the percolation current path in the dots array. |
| （英） | Silicon-quantum-dots (Si-QDs) with an areal density as high as ~1012cm-2 were self-assembled on thermally-grown SiO2 by low pressure CVD using Si2H6, in which OH-terminated SiO2 surface prior to the Si CVD was exposed to GeH4 to create nucleation sites uniformly. After thermal oxidation of Si-QDs surface, two-dimensional electronic transport through the Si-QDs array was measured with co-planar Al electrodes evaporated on the array surface. Random telegraph signals were clearly observed at constant applied bias conditions in dark condition and under light irradiation at room temperature. The result indicates the charging and discharging of a dot adjacent to the percolation current path in the dots array. | |
| キーワード | （和） | Si量子ドット / ランダム・テレグラフ・シグナル / AFM/KFM / / / / / |
| （英） | Si Quantum Dots / Random Telegraph Signals / AFM/KFM / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 98, SDM2009-87, pp. 181-184, 2009年6月. | |
| 資料番号 | SDM2009-87 | |
| 発行日 | 2009-06-17 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-92 SDM2009-87 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2009-06-24 - 2009-06-26 |
| 開催地（和） | 海雲台グランドホテル（釜山、韓国） |
| 開催地（英） | Haeundae Grand Hotel, Busan, Korea |
| テーマ（和） | 第17回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2009) |
| テーマ（英） | 2009 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2009-06-SDM-ED |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Random Telegraph Signals in Two-Dimensional Array of Si Quantum Dots |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Si量子ドット / Si Quantum Dots |
| キーワード(2)（和/英） | ランダム・テレグラフ・シグナル / Random Telegraph Signals |
| キーワード(3)（和/英） | AFM/KFM / AFM/KFM |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 牧原 克典 / Katsunori Makihara / マキハラ カツノリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池田 弥央 / Mitsuhisa Ikeda / イケダ ミツヒサ |
| 第2著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川浪 彰 / Akira Kawanami / カワナミ アキラ |
| 第3著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮崎 誠一 / Seiichi Miyazaki / ミヤザキ セイイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-06-26 11:15:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | ED2009-92, SDM2009-87 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.97(ED), no.98(SDM) |
| ページ範囲 | pp.181-184 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-06-17 (ED, SDM) |
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