お知らせ 2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ 技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ 電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW 参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2009-07-30 13:00
マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるマイクロ波とプラズマの自己無撞着解析に関する検討
西川崇之室蘭工大)・畑口雅人松岡俊佑旭川高専)・川口秀樹鏡 愼室蘭工大MW2009-50 OPE2009-50 エレソ技報アーカイブへのリンク:MW2009-50 OPE2009-50
抄録 (和) マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるプラズマが形成される現象を把握すべく,プラズマ中のマイクロ波と電子密度分布を同時に計算する自己無撞着のためのアルゴリズムの検討を行った。実際に用いられた装置形状において真空状態からシミュレーションを開始し,自己無撞着解析により徐々にプラズマを生成させ,最終的に表面波状のプラズマ分布が得られることを確認したので報告する。 
(英) This paper presents a self-consistent analysis of microwave and plasma in microwave excited surface-wave plasma semiconductor processing equipment to aim to understand the mechanism of generation of the surface-wave plasma distribution. The simulation starts at the vacuum status for the size of equipment used in real experiment, and it is finally confirmed that surface-wave like plasma distributions are obtained.
キーワード (和) FDTD法 / 表面波プラズマ / 半導体処理装置 / マイクロ波 / 自己無撞着解析 / / /  
(英) FDTD / surface-wave plasma / semi-conductor processing equipment / microwave / self-consistent analysis / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, 2009年7月.
資料番号  
発行日 2009-07-23 (MW, OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード MW2009-50 OPE2009-50 エレソ技報アーカイブへのリンク:MW2009-50 OPE2009-50

研究会情報
研究会 OPE EMT MW  
開催期間 2009-07-30 - 2009-07-31 
開催地(和) 旭川市民文化会館 
開催地(英) Asahikawa Civic Culture Hall 
テーマ(和) マイクロ波フォトニクス技術、一般 
テーマ(英) Microwave photonics / NA 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 EMT 
会議コード 2009-07-OPE-EMT-MW 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるマイクロ波とプラズマの自己無撞着解析に関する検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Self-consistent Analysis of Microwave and Plasma in Microwave Excited of Surface-wave Plasma Semiconductor Processing 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) FDTD法 / FDTD  
キーワード(2)(和/英) 表面波プラズマ / surface-wave plasma  
キーワード(3)(和/英) 半導体処理装置 / semi-conductor processing equipment  
キーワード(4)(和/英) マイクロ波 / microwave  
キーワード(5)(和/英) 自己無撞着解析 / self-consistent analysis  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 西川 崇之 / Takayuki Nishikawa / ニシカワ タカユキ
第1著者 所属(和/英) 室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran IT)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 畑口 雅人 / Masato Hataguchi / ハタグチ マサト
第2著者 所属(和/英) 旭川工業高等専門学校 (略称: 旭川高専)
Asahikawa National College of Technology (略称: Asahikawa NCT)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 松岡 俊佑 / Shun-suke Matsuoka / マツオカ シュンスケ
第3著者 所属(和/英) 旭川工業高等専門学校 (略称: 旭川高専)
Asahikawa National College of Technology (略称: Asahikawa NCT)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 川口 秀樹 / Hideki Kawaguchi / カワグチ ヒデキ
第4著者 所属(和/英) 室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran IT)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 鏡 愼 / Shin Kagami / カガミ シン
第5著者 所属(和/英) 室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran IT)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第6著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第7著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第8著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第9著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者 第1著者 
発表日時 2009-07-30 13:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 EMT 
資料番号 MW2009-50, OPE2009-50 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.158(MW), no.159(OPE) 
ページ範囲 pp.111-114 
ページ数
発行日 2009-07-23 (MW, OPE) 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会