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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-07-31 13:20 MEMS技術を用いたマイクロメタンセンサの開発 ～ 熱耐久性の改善 ～ ○高田 義・堂上長則・中田谷昌徳（新コスモス電機）  ED2009-113 |
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| 抄録 | （和） | 電池駆動式都市ガス警報器用センサとして、超低消費電力メタンセンサの開発が強く望まれている。このため、MEMS技術を用いたマイクロガスセンサの研究・開発が盛んに行われている。メタンセンサは、その平均消費電力を極小にするためパルス法により駆動され、且つそのセンサ温度は400～500℃である。それ故、優れた熱耐久性が要求される。我々は、MEMS技術を用い、800万回以上の熱衝撃（室温―500℃）に耐える超低消費電力メタンセンサを開発したので報告する。 |
| （英） | Thermal shock resistance of a micromachined gas sensor that has a suspended type structure and a sintered SnO2 thick film on the micro hot plate, was investigated for variously designed micro gas sensors. It was found that the sintered SnO2-based thick film structure frequently brought about cracks near the boundary between the edges of thick film and the suspended beam, although the cracks were scarcely observed for only the micro hot plate. The thermal shock resistance of the micromachined thick film type gas sensor was strongly dependent on the design of the micro hot plate. The hook-shaped beam structure greatly improved the thermal shock resistance. The sensor endured repeated thermal cycles between room temperature and 500 ℃, more than 8 million of thermal cycles. | |
| キーワード | （和） | ガスセンサ / MEMS / 熱耐久性 / 電池駆動 / / / / |
| （英） | Gas Sensor / MEMS / Thermal Shock Resistance / Battery-operation / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 157, ED2009-113, pp. 57-61, 2009年7月. | |
| 資料番号 | ED2009-113 | |
| 発行日 | 2009-07-23 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-113 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-07-30 - 2009-07-31 |
| 開催地（和） | 大阪大学（銀杏会館） |
| 開催地（英） | Osaka Univ. Icho-Kaikan |
| テーマ（和） | センサーデバイス，MEMS，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-07-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MEMS技術を用いたマイクロメタンセンサの開発 |
| サブタイトル（和） | 熱耐久性の改善 |
| タイトル（英） | Micromachined Methane Sensor Based on Palladium Catalytic Thin Layer/Tin Oxide Thick Film |
| サブタイトル（英） | Improvement in Thermal Shock Resistance by Examining its Design |
| キーワード(1)（和/英） | ガスセンサ / Gas Sensor |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | 熱耐久性 / Thermal Shock Resistance |
| キーワード(4)（和/英） | 電池駆動 / Battery-operation |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高田 義 / Tadashi Takada / タカダ タダシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 新コスモス電機株式会社 (略称： 新コスモス電機) New Cosmos Electric Co.,Ltd. (略称： New Cosmos Electric Co.,Ltd.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 堂上 長則 / Naganori Dougami / ドウガミ ナガノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新コスモス電機株式会社 (略称： 新コスモス電機) New Cosmos Electric Co.,Ltd. (略称： New Cosmos Electric Co.,Ltd.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中田谷 昌徳 / Yoshinori Nakataya / ナカタヤ ヨシノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 新コスモス電機株式会社 (略称： 新コスモス電機) New Cosmos Electric Co.,Ltd. (略称： New Cosmos Electric Co.,Ltd.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-07-31 13:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-113 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.157 |
| ページ範囲 | pp.57-61 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-07-23 (ED) |
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