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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-07-31 13:45 TaAl-Nを用いた薄膜マイクロ真空センサの開発 ○岡野夕紀子・田尻修一・青園隆司（岡野製作所）・岡本昭夫（阪府産技研）・小川倉一（小川創造技研）・美馬宏司（阪市大）  ED2009-114 |
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| 抄録 | （和） | 反応性スパッタ法により作製した高TCR(抵抗温度係数)のTaAl-N複合薄膜を用いた薄膜マイクロセンサを開発し、大気圧から10-4Paまでの広い圧力領域で計測可能な真空計について製品化の可能性を確認した。本報告ではそれらの開発内容ならびにこれまで実現し得なかった新しい圧力計測システムへの可能性についても述べる。 |
| （英） | The temperature dependence of the electrical resistivity of TaAl-N thin film was investigated and the characteristics of the thin film was applied to measure a pressure over a wide range in vacuum. The thin films, having been prepared by reacted DC magnetron sputtering method and deposited on the polyimide sheet, have characteristics that make them suitable for using as the thermo-conductive vacuum sensor; a large effective sensing area, a small heat capacity, and a large temperature coefficient of the resistivity (TCR) compared to a metal wire. The thin films was found sensitive to pressure change in the range of 100kPa to 10-4 Pa. | |
| キーワード | （和） | 反応性スパッタ法 / TaAl-N薄膜 / マイクロ真空センサ / / / / / |
| （英） | Reactive sputtering method / TaAl-N thin films / Micro vacuum sensor / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 157, ED2009-114, pp. 63-67, 2009年7月. | |
| 資料番号 | ED2009-114 | |
| 発行日 | 2009-07-23 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-114 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-07-30 - 2009-07-31 |
| 開催地（和） | 大阪大学（銀杏会館） |
| 開催地（英） | Osaka Univ. Icho-Kaikan |
| テーマ（和） | センサーデバイス，MEMS，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-07-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | TaAl-Nを用いた薄膜マイクロ真空センサの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of wide range micro vacuum sensor with TaAl-N thin film |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 反応性スパッタ法 / Reactive sputtering method |
| キーワード(2)（和/英） | TaAl-N薄膜 / TaAl-N thin films |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロ真空センサ / Micro vacuum sensor |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡野 夕紀子 / Yukiko Okano / オカノ ユキコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社岡野製作所 (略称： 岡野製作所) OKANO WORKS, LTD. (略称： Okanoworks) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田尻 修一 / Shuichi Tajiri / タジリ シュウイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 株式会社岡野製作所 (略称： 岡野製作所) OKANO WORKS, LTD. (略称： Okanoworks) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 青園 隆司 / Takashi Aozono / アオゾノ タカシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 株式会社岡野製作所 (略称： 岡野製作所) OKANO WORKS, LTD. (略称： Okanoworks) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡本 昭夫 / Akio Okamoto / オカモト アキオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 大阪府立産業技術総合研究所 (略称： 阪府産技研) Technology Research Institute of Osaka Prefecture (略称： TRI) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小川 倉一 / Soichi Ogawa / オガワ ソウイチ |
| 第5著者 所属（和/英） | 小川創造技術研究所 (略称： 小川創造技研) Ogawa Creation Research Laboratory (略称： Ogawa Creation Research Laboratory) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 美馬 宏司 / Hiroshi Mima / ミマ ヒロシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 大阪市立大学 (略称： 阪市大) Osaka City University (略称： Osaka City Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-07-31 13:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-114 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.157 |
| ページ範囲 | pp.63-67 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-07-23 (ED) |
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