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| 講演名 | 2009-09-04 09:30 半導体素子レベル低ノイズ化を目的としたオンチップ伝送線路における磁性薄膜電磁ノイズ抑制体の基礎特性評価 ○室賀 翔・遠藤 恭・鈴木 充・稲垣孝嘉・三束芳央・山口正洋（東北大）  EMCJ2009-36 |
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| 抄録 | （和） | チップ上の電源配線を想定し，SOI-CMOSプロセスにより線幅10 μm程度のコプレーナ伝送線路とマイクロストリップ線路を形成し，膜厚が0.5 μm のCoZrNb磁性薄膜を製膜し，電磁ノイズ抑制体として十分な損失が得られるかを検討した．その寸法は膜長が1.91 mm，膜幅が0.86 mmであり，我々の既報に比べて1/35まで小面積かつ1/8まで膜長を短縮した．磁性薄膜をコプレーナ伝送線路上においた場合は7 GHzで37%，マイクロストリップ線路上に置いた場合は5.4 GHzで17%と，既報と比較して大きなノイズ抑制効果を得た．その結果，我々の既報に比べて1/35まで小面積かつ1/8まで膜長を短縮した磁性薄膜を用いて，十分なノイズ抑制効果を得た． |
| （英） | The noise suppression on the transmission line, fabricated in a 0.15 μm five metals SOI-CMOS technology with high resistivity substrate, has been demonstrated using the CoZrNb soft magnetic film. The power loss of 37% was obtained at the frequency of 7 GHz in coplanar line with film and 17% was obtained at the frequency of 5.4 GHz in microstrip line with film. As a result, a large loss was obtained by short length of the transmission line. | |
| キーワード | （和） | 薄膜電磁ノイズ抑制体 / 強磁性薄膜 / EMC / / / / / |
| （英） | Thin Film RF Noise Suppressor / Ferromagnetic Film / EMC / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 185, EMCJ2009-36, pp. 7-12, 2009年9月. | |
| 資料番号 | EMCJ2009-36 | |
| 発行日 | 2009-08-28 (EMCJ) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMCJ2009-36 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMCJ |
| 開催期間 | 2009-09-04 - 2009-09-04 |
| 開催地（和） | けいはんなプラザ |
| 開催地（英） | KEIHANNA PLAZA |
| テーマ（和） | EMC一般〔次世代無線設備試験認証技術(ACT)研究会 併催〕 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMCJ |
| 会議コード | 2009-09-EMCJ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 半導体素子レベル低ノイズ化を目的としたオンチップ伝送線路における磁性薄膜電磁ノイズ抑制体の基礎特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of Ferromagnetic Thin Film RF Noise Suppressor applied to On-Chip Transmission Lines for the Purpose of Noise Suppression in Semiconductor Devices |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜電磁ノイズ抑制体 / Thin Film RF Noise Suppressor |
| キーワード(2)（和/英） | 強磁性薄膜 / Ferromagnetic Film |
| キーワード(3)（和/英） | EMC / EMC |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 室賀 翔 / Sho Muroga / ムロガ ショウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠藤 恭 / Yasushi Endo / エンドウ ヤスシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 充 / Mitsuru Suzuki / スズキ ミツル |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 稲垣 孝嘉 / Takayoshi Inagaki / イナガキ タカヨシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三束 芳央 / Yoshio Mitsuzuka / ミツヅカ ヨシオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山口 正洋 / Masahiro Yamaguchi / ヤマグチ マサヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-09-04 09:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMCJ |
| 資料番号 | EMCJ2009-36 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.185 |
| ページ範囲 | pp.7-12 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-08-28 (EMCJ) |
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