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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-09-30 10:55 マイクロLFB超音波材料解析システムのZnO単結晶評価への応用 ○吉田 翔・大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一・坂上 登（東北大）  US2009-51 |
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| 抄録 | （和） | 直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムの空間分解能を向上させたマイクロLFBデバイスを用いてZnO単結晶の評価を試みた。水熱合成法で作製された２個のZnO単結晶試料を準備し、ひとつは{001}面(±c面)、{100}面(m面)、{101}面(p面)に対して、もうひとつは種結晶を含む断面(±c面)に対してLSAW速度分布を測定した。前者の試料の+c面とm面は高抵抗で、-c面とp面は低抵抗であった。後者の試料は、種結晶と考えられる高抵抗な領域の周りに低抵抗領域があり、さらにその周りには再び高抵抗な領域があった。これはZnO単結晶の育成条件の変化を捉えたものと考えられ、この情報は結晶成長プロセスの理解に貢献できる。また、YX-ZnOを標準試料(圧電が関与しない)とすることで安定したシステム校正が簡易的に行えることを示した。 |
| （英） | We evaluated ZnO single crystals using a micro-line-focus-beam ultrasonic material characterization (LFB-UMC) system with an improved spatial resolution. We prepared two small ZnO single crystals grown by the hydrothermal synthesis method. Leaky surface acoustic waves (LSAWs) velocity distributions were measured at 225 MHz for {001} (c-plane), {100} (m-plane), and {101} (p-plane) of one specimen and cross-sectional surfaces (±c-plane) of the other specimen. For the former specimen, we found the facts that +c- and m-planes are very resistive and p- and -c-planes are very conductive. For the latter specimen, we observed very conductive regions surrounding a very resistive seed crystal and very resistive surface at +c- and m-planes surrounding the conductive regions. The information should reflect changes in growth conditions of ZnO single crystals and will be used for further understanding the crystal growth processes. We also demonstrated that system calibration can easily and stably be made using a standard specimen of YX- ZnO (independent with piezoelectricity). | |
| キーワード | （和） | ZnO単結晶 / 直線集束ビーム超音波材料解析システム / マイクロ直線集束ビーム超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波速度 / / / / |
| （英） | ZnO single crystal / line-focus-beam ultrasonic material characterization system / micro-line-focus-beam ultrasonic material characterization system / velocity of leaky surface acoustic waves / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 213, US2009-51, pp. 77-82, 2009年9月. | |
| 資料番号 | US2009-51 | |
| 発行日 | 2009-09-22 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2009-51 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2009-09-29 - 2009-09-30 |
| 開催地（和） | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 |
| 開催地（英） | Noboribetsu Grand Hotel |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2009-09-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | マイクロLFB超音波材料解析システムのZnO単結晶評価への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of Elastic Inhomogeneity in ZnO Crystal by Means of the Micro-LFB Ultrasonic Material Characterization System |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO単結晶 / ZnO single crystal |
| キーワード(2)（和/英） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロ直線集束ビーム超音波材料解析システム / micro-line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(4)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / velocity of leaky surface acoustic waves |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 翔 / Sho Yoshida / ヨシダ ショウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学大学工学研究科 (略称： 東北大) Graduate School of Engineering, Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学大学工学研究科 (略称： 東北大) Graduate School of Engineering, Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学大学工学研究科 (略称： 東北大) Graduate School of Engineering, Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学大学工学研究科 (略称： 東北大) Graduate School of Engineering, Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂上 登 / Noboru Sakagami / サカガミ ノボル |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学大学工学研究科 (略称： 東北大) Graduate School of Engineering, Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-09-30 10:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2009-51 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.213 |
| ページ範囲 | pp.77-82 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-09-22 (US) |
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