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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-15 14:20 マルチエミッタ評価装置による電子放出素子のその場・real time観察 ○酒井健太郎・椿 大輔・村田英一・下山 宏（名城大）・酒村一到・根岸伸安・渡辺 温（パイオニア）  ED2009-118 |
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| 抄録 | （和） | これまで我々は、マルチエミッタの動作状態や性能を評価するためのマルチエミッタ評価装置を開発してきた。本装置はLEEM/FEEM像およびPEEM/FEEM像の同時観察が可能であり、エミッタの電子放出状態と表面形状のその場・real time観察が行える。しかしながら、素子からの放出電流が増加すると、電子放出状態を示すFEEM像の像強度がLEEM像またはPEEM像の像強度より桁違いに大きくなるため、同時観察が困難であった。また、放出電流の増加とともに、強電界の印加されている試料・対物レンズ間で、突発的な放電も発生していた。これらの問題を解決するために、従来までDCモードのみであった素子駆動用のフローティング電源をパルスモードでも動作できるように改良した。これにより、素子の間欠的動作が可能となり、放出電流量の平均値を減らすことができ、その結果、放出電流が多い場合においても、同時観察が可能となった。また、突発的な放電も劇的に減少させることができた。 |
| （英） | We have developed an electron optical instrument for evaluation of multi emitters. The instrument is a versatile emission microscope and is capable of operating as LEEM, PEEM and FEEM imaging modes. The most important feature of the instrument is the capability of simultaneous observation of LEEM and FEEM images as well as PEEM and FEEM images in real time and in-situ mode. The operating condition of the multi emitters can be observed in DC mode as well as pulse mode. Thus, the instrument enables us to obtain quantitative knowledge as to the percentage of actually working emitters out of the whole emitters and to evaluate the stability of the emission current from each individual working emitter. | |
| キーワード | （和） | FEA / HEED / LEEM / PEEM / FEEM / 電界電子放出 / 電界放出ディスプレイ / |
| （英） | FEA / HEED / LEEM / PEEM / FEEM / field emission / FED / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 230, ED2009-118, pp. 11-16, 2009年10月. | |
| 資料番号 | ED2009-118 | |
| 発行日 | 2009-10-08 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2009-118 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2009-10-15 - 2009-10-16 |
| 開催地（和） | 福井大学 産学官連携本部（旧地域共同研究センター） ３階 研修室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2009-10-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | マルチエミッタ評価装置による電子放出素子のその場・real time観察 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | In-situ, real time observation of operating condition of multi emitters |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | FEA / FEA |
| キーワード(2)（和/英） | HEED / HEED |
| キーワード(3)（和/英） | LEEM / LEEM |
| キーワード(4)（和/英） | PEEM / PEEM |
| キーワード(5)（和/英） | FEEM / FEEM |
| キーワード(6)（和/英） | 電界電子放出 / field emission |
| キーワード(7)（和/英） | 電界放出ディスプレイ / FED |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒井 健太郎 / Kentaro Sakai / サカイ ケンタロウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 椿 大輔 / Daisuke Tsubaki / ツバキ ダイスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 宏 / Hiroshi Shimoyama / シモヤマ ヒロシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 酒村 一到 / Kazuto Sakemura / サケムラ カズト |
| 第5著者 所属（和/英） | パイオニア株式会社 (略称： パイオニア) Pioneer Corporation (略称： Pioneer Corp.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 根岸 伸安 / Nobuyasu Negishi / ネギシ ノブヤス |
| 第6著者 所属（和/英） | パイオニア株式会社 (略称： パイオニア) Pioneer Corporation (略称： Pioneer Corp.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡辺 温 / Atsushi Watanane / ワタナベ アツシ |
| 第7著者 所属（和/英） | パイオニア株式会社 (略称： パイオニア) Pioneer Corporation (略称： Pioneer Corp.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第8著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第11著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第12著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-15 14:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2009-118 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.230 |
| ページ範囲 | pp.11-16 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-10-08 (ED) |
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