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講演抄録/キーワード
講演名 2009-10-23 14:30
ポリイミド薄膜水分センサを用いた防湿膜の水蒸気透過率評価
松本貴靖伊東栄次信州大OME2009-48 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2009-48
抄録 (和) デバイスの封止において高感度で簡便な水蒸気透過率評価技術が要求されている。水蒸気透過率評価法としてモコン法、Ca腐食法、感湿センサ法等が知られる中で本研究では感湿センサ法に注目した。含フッ素ポリイミドは吸着水分量に対して静電容量が直線的に変化し、0-90%RHの広い範囲の相対湿度に対して優れた直線性と1秒以内の高速応答が可能である。本研究ではポリイミド薄膜センサを感湿センサとして用い、ポリイミド薄膜中の水分量を静電容量から検出する事によってバリアフィルム水蒸気透過率評価への応用を検討した。また、ポリイミド薄膜感湿センサを用いてポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムやポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムおよび封止用のUV硬化性樹脂の水蒸気透過率の評価を行った。 
(英) An ultra high sensitive evaluation technique of water vapor transmission rate (WVTR) through gas barrier film has been required for practical application of organic electronic devices, recently. The capacitance of partially fluorinated polyimide linearly increases with relative humidity and the amount of adsorbed water molecules less than 1s, which is suitable for WVTR measurement through gas barrier films. In this study, we evaluated and discussed the values of WVTR and the lag time of water vapor transmission through various gas barriers, such as 100µm-thick PET film and 125µm-thick PEN film with and without barrier coating layer and photo-curable UV resin by the polyimide sensor placed under the gas barrier flims.
キーワード (和) ポリイミド / 静電容量型センサ / 水蒸気透過率 / バリアフィルム / 紫外線硬化性樹脂 / / /  
(英) Polyimide / Capacitive sensor / Water vapor transmission rate / barrier film / ultraviolet curable resin / / /  
文献情報 信学技報, vol. 109, no. 251, OME2009-48, pp. 41-46, 2009年10月.
資料番号 OME2009-48 
発行日 2009-10-16 (OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OME2009-48 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2009-48

研究会情報
研究会 OME  
開催期間 2009-10-23 - 2009-10-23 
開催地(和) 中央電気倶楽部 214号室 
開催地(英) Chuo-Denki-Club, ROOM 213 
テーマ(和) 有機材料・一般 
テーマ(英) Organic Materials and Others related to OME activity 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2009-10-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ポリイミド薄膜水分センサを用いた防湿膜の水蒸気透過率評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) The evaluation of water vapor transmission rate through gas barrier film by high sensitive polyimides sensors. 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ポリイミド / Polyimide  
キーワード(2)(和/英) 静電容量型センサ / Capacitive sensor  
キーワード(3)(和/英) 水蒸気透過率 / Water vapor transmission rate  
キーワード(4)(和/英) バリアフィルム / barrier film  
キーワード(5)(和/英) 紫外線硬化性樹脂 / ultraviolet curable resin  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 貴靖 / Takayasu Matsumoto / マツモト タカヤス
第1著者 所属(和/英) 信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 伊東 栄次 / Eiji Itoh / イトウ エイジ
第2著者 所属(和/英) 信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2009-10-23 14:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OME 
資料番号 OME2009-48 
巻番号(vol) vol.109 
号番号(no) no.251 
ページ範囲 pp.41-46 
ページ数
発行日 2009-10-16 (OME) 


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