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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-10-29 16:15 Tribological Study for Low Shear Force CMP Process on Damascene Interconnects ○Xun Gu・Takenao Nemoto（Tohoku Univ.）・Yasa Adi Sampurno（Univ. of Arizona/Araca,Inc.）・Jiang Cheng・Sian Theng（Araca,Inc.）・Akinobu Teramoto（Tohoku Univ.）・Ricardo Duyos Mateo・Leonard Borucki（Araca,Inc.）・Yun Zhuang・Ara Philipossian（Univ. of Arizona/Araca,Inc.）・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）  SDM2009-121 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2009-121 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 257, SDM2009-121, pp. 21-26, 2009年10月. | |
| 資料番号 | SDM2009-121 | |
| 発行日 | 2009-10-22 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2009-121 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2009-121 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2009-10-29 - 2009-10-30 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku University |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Semiconductor process science and new technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2009-10-SDM |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tribological Study for Low Shear Force CMP Process on Damascene Interconnects |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 谷 クン / Xun Gu / コク クン |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 根本 剛直 / Takenao Nemoto / ネモト タケナオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | Yasa Adi Sampurno / Yasa Adi Sampurno / |
| 第3著者 所属（和/英） | University of Arizona/Araca,Inc. (略称： Univ. of Arizona/Araca,Inc.) University of Arizona/Araca,Inc. (略称： Univ. of Arizona/Araca,Inc.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | Jiang Cheng / Jiang Cheng / |
| 第4著者 所属（和/英） | Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | Sian Theng / Sian Theng / |
| 第5著者 所属（和/英） | Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | Ricardo Duyos Mateo / Ricardo Duyos Mateo / |
| 第7著者 所属（和/英） | Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | Leonard Borucki / Leonard Borucki / |
| 第8著者 所属（和/英） | Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) Araca,Inc. (略称： Araca,Inc.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | Yun Zhuang / Yun Zhuang / |
| 第9著者 所属（和/英） | University of Arizona/Araca,Inc. (略称： Univ. of Arizona/Araca,Inc.) University of Arizona/Araca,Inc. (略称： Univ. of Arizona/Araca,Inc.) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | Ara Philipossian / Ara Philipossian / |
| 第10著者 所属（和/英） | University of Arizona/Araca,Inc. (略称： Univ. of Arizona/Araca,Inc.) University of Arizona/Araca,Inc. (略称： Univ. of Arizona/Araca,Inc.) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第11著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第12著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-10-29 16:15:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2009-121 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.257 |
| ページ範囲 | pp.21-26 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-10-22 (SDM) |
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