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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-12-04 15:30 レーザプラズマ軟X線照射により形成された擬似結晶核を介したa-Si膜の結晶化 ○礒田伸哉・松尾直人・天野 壮・部家 彰・宮本修治・望月孝晏（兵庫県立大）  SDM2009-165 |
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| 抄録 | （和） | LPXを照射したa-Si膜を、ラマン分光法、分光エリプソメトリ、ESRを用いて解析した。LPX照射によりa-Si膜上部の屈折率、消衰係数、膜中のダングリングボンド数が変化していることが分かった。このことから擬似結晶核を形成するエンブリオの形成について議論する。また、全過程におけるLPX照射による低温結晶化についても擬似結晶核の生成と関連付けて議論する。 |
| （英） | A-Si film irradiated Laser Plasma soft X-ray (LPX) was analyzed by Raman spectrometry, spectroscopic ellipsometry, and electron spin resonance (ESR). The refractive index of upper layer, extinction coefficient and dangling-bond density of a-Si film was changed by LPX irradiation. From these results, the formation of embryos which constitute the quasi-nuclei is discussed. The feasibility of low-temperature crystallization by the LPX irradiation during the entire process is also discussed related with the generation of quasi-nuclei. | |
| キーワード | （和） | レーザプラズマ軟X線 / Si / 低温 / 結晶化 / TFT / / / |
| （英） | Laser Plasma soft X-ray / Si / low temperature / crystallization / TFT / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 321, SDM2009-165, pp. 73-77, 2009年12月. | |
| 資料番号 | SDM2009-165 | |
| 発行日 | 2009-11-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2009-165 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2009-12-04 - 2009-12-04 |
| 開催地（和） | 奈良先端大 物質創成科学研究科 |
| 開催地（英） | NAIST |
| テーマ（和） | シリコン関連材料の作製と評価 |
| テーマ（英） | Fabrication, Evaluation for Si Related Materials, |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2009-12-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | レーザプラズマ軟X線照射により形成された擬似結晶核を介したa-Si膜の結晶化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystallization of a-Si Film via Quasi-Nuclei Formed by Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザプラズマ軟X線 / Laser Plasma soft X-ray |
| キーワード(2)（和/英） | Si / Si |
| キーワード(3)（和/英） | 低温 / low temperature |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶化 / crystallization |
| キーワード(5)（和/英） | TFT / TFT |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 礒田 伸哉 / Sinya Isoda / イソダ シンヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 工学研究科 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松尾 直人 / Naoto Matsuo / マツオ ナオト |
| 第2著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 工学研究科 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天野 壮 / Sho Amano / アマノ ショウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 工学研究科 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 部家 彰 / Akira Heya / ヘヤ アキラ |
| 第4著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 工学研究科 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 修治 / Shuji Miyamoto / ミヤモト シュウジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 工学研究科 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 望月 孝晏 / Takayasu Mochizuki / モチヅキ タカヤス |
| 第6著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 工学研究科 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-12-04 15:30:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2009-165 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.321 |
| ページ範囲 | pp.73-77 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2009-11-27 (SDM) |
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