講演抄録/キーワード |
講演名 |
2009-12-04 11:00
MOSトランジスタ特性の距離/空間ばらつきにおけるレイアウト構造依存性の解析 ○佐土平裕一・中武繁寿(北九州市大) VLD2009-61 DC2009-48 |
抄録 |
(和) |
本研究は、
MOSトランジスタ特性における製造ばらつきの対する
拡散共有/分離、ゲート分割などのレイアウト構造に依存性に関して調査する。
具体的には、90nm製造プロセスにおいてTEGを開発、評価し、
チップ上に7x7ユニットで配置したMOSトランジスタのしきい値電圧(Vth)
の実測値から距離と空間に依存するばらつき要素を抽出し、
それらのレイアウト構造依存性との相関について解析、考察を行った。 |
(英) |
In this paper, we investigate the dependency
of layout structures such as diffusion sharing/isolation and gate division
on MOS transistor characteristics
against the variation caused by manufacturing.
We developed TEG chips on 90nm manufacturing process
and evaluated them for the investigation.
Each chip is composed of 7x7 units,
various sizes and layouts of MOS transistors
are embedded in each of units.
We measured Vth of each transistors and analyzed them.
In the analysis,
we identified the space-dependent components
and distance-dependent components
from the variation values of the measured Vth. |
キーワード |
(和) |
MOSトランジスタ / 製造ばらつき / 距離依存ばらつき / 空間依存ばらつき / レイアウト構造依存性 / / / |
(英) |
MOS Transistor / Manufacturing Variation / Distance-Dependent Variation / Space-Dependent Variation / Layout-Structure-Dependency / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 315, VLD2009-61, pp. 137-142, 2009年12月. |
資料番号 |
VLD2009-61 |
発行日 |
2009-11-25 (VLD, DC) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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