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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-12-18 14:50 プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路 三浦健太・○町田裕貴・上原政人・花泉 修（群馬大）・石井保行・佐藤隆博・高野勝昌・大久保 猛・山崎明義・井上愛知・江夏昌志・横山彰人・神谷富裕・小嶋拓治（原子力機構）・西川宏之（芝浦工大）  OPE2009-165 |
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| 抄録 | （和） | プロトンビーム描画は，次世代の微細加工技術として注目されているが，PMMAへのプロトン照射による屈折率向上効果を利用することによって，光導波路形成への応用も可能である．今回我々は，このプロトンビーム描画を利用してPMMA薄膜導波路を試作した．長さ10mm程度の直線導波路を作製，評価したところ，波長1.55μmにおいてシングルモード伝搬を確認できたので報告する． |
| （英） | Proton beam writing attracts recently much attention as one of the next-generation micro-fabrication technologies. It has many advantages compared with other technologies such as electron beam lithography. Proton beam writing makes three-dimensional fabrication easier and also processing throughput higher. The importance of planar polymer optical waveguides is recently increasing in the field of optical fiber communication. In this study, we proposed and fabricated line-type PMMA thin film waveguides by the proton beam writing, and we obtained single-mode waveguides working at a wavelength of 1550 nm. | |
| キーワード | （和） | プロトンビーム描画 / PMMA / シングルモード導波路 / / / / / |
| （英） | Proton Beam Writing / PMMA / Single-mode Waveguide / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 353, OPE2009-165, pp. 25-28, 2009年12月. | |
| 資料番号 | OPE2009-165 | |
| 発行日 | 2009-12-11 (OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2009-165 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
| 開催期間 | 2009-12-18 - 2009-12-18 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光パッシブコンポネント（フィルタ、コネクタ、MEMS）、シリコンフォトニク ス、光ファイバ、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2009-12-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Single-mode PMMA Waveguides for the 1.5μm-wavelength Range Fabricated by Proton Beam Writing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | プロトンビーム描画 / Proton Beam Writing |
| キーワード(2)（和/英） | PMMA / PMMA |
| キーワード(3)（和/英） | シングルモード導波路 / Single-mode Waveguide |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 町田 裕貴 / Yuki Machida / マチダ ユウキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上原 政人 / Masato Uehara / ウエハラ マサト |
| 第3著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム |
| 第4著者 所属（和/英） | 群馬大学 (略称： 群馬大) Gunma University (略称： Gunma Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石井 保行 / Yasuyuki Ishii / イシイ ヤスユキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 隆博 / Takahiro Satoh / サトウ タカヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高野 勝昌 / Katsuyoshi Takano / タカノ カツヨシ |
| 第7著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大久保 猛 / Takeru Ohkubo / オオクボ タケル |
| 第8著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山崎 明義 / Akiyoshi Yamazaki / ヤマザキ アキヨシ |
| 第9著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井上 愛知 / Aichi Inouye / イノウエ アイチ |
| 第10著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 江夏 昌志 / Masashi Koka / コウカ マサシ |
| 第11著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 横山 彰人 / Akihito Yokoyama / ヨコヤマ アキヒト |
| 第12著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 神谷 富裕 / Tomihiro Kamiya / カミヤ トミヒロ |
| 第13著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小嶋 拓治 / Takuji Kojima / コジマ タクジ |
| 第14著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構 (略称： 原子力機構) Japan Atomic Energy Agency (略称： JAEA) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西川 宏之 / Hiroyuki Nishikawa / ニシカワ ヒロユキ |
| 第15著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 (略称： 芝浦工大) Shibaura Institute of Technology (略称： Shibaura Inst. Tech.) |
| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2009-12-18 14:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2009-165 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.353 |
| ページ範囲 | pp.25-28 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2009-12-11 (OPE) |
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