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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-01-22 09:05 電子ビーム静電偏向システムの低ノイズ方式設計 ○李 ウェン・幕内雅巳・今川健吾（日立）・高橋弘之・大南祐介・郡司康弘（日立ハイテクノロジーズ）  EMCJ2009-111 |
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| 抄録 | （和） | 電子やイオン等の荷電粒子ビームを用いた半導体製造・検査・計測装置および電子顕微鏡等の分析装置では，高速・高精度なビーム偏向制御技術が要求されている．ビーム偏向の高精度化に向けて偏向ずれを低減するには，偏向制御回路システムの低ノイズ化が必要である．本稿では，２段偏向機構を有する光学系の電子ビーム偏向軌道と偏向制御回路とをモデル化したノイズ伝播解析により，電子ビーム偏向ずれに対する偏向制御回路ノイズの影響についてメカニズムと寄与度を定量的に解明した．その結果，低ノイズ偏向制御回路方式として上下段偏向回路を共通化することによりビーム偏向ずれ量を２倍以上低減できることを明らかにした． |
| （英） | High resolution beam control technology has been required from ion or electron beam lithography, inspection apparatus, metrology apparatus and SEM. In order to decrease the beam deflection deviation, the control circuit must be design with low noise. The authors have quantitatively clarified the relationship between the circuit noise and the deviation for a double-stage and multi-pole deflector by analyzing the noise propagation with the electron-beam trajectory model and circuit model. As a result, the deviation can be decreased by half when there are as more common parts for the upper and lower control circuits as possible. | |
| キーワード | （和） | 電子ビーム / 静電偏向 / 低ノイズ回路 / システム設計 / 偏向ずれ / / / |
| （英） | electron-beam / electrostatic deflection / low noise circuit / system design / deflection deviation / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 370, EMCJ2009-111, pp. 75-80, 2010年1月. | |
| 資料番号 | EMCJ2009-111 | |
| 発行日 | 2010-01-14 (EMCJ) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMCJ2009-111 |
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