| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2010-01-26 09:00
水熱合成PZT多結晶膜を用いた堅牢タイプハイドロホンのHIFU装置および超音波洗浄機を用いた評価 ○吉村一穂・川島徳道(桐蔭横浜大)・内田武吉・吉岡正裕・菊池恒男(産総研)・黒澤 実(東工大)・竹内真一(桐蔭横浜大) US2009-99 |
| 抄録 |
(和) |
水熱合成法によるPZT多結晶膜は広帯域な周波数特性を持つ超音波プローブが実現可能な上に基材がチタンであれば複雑な形状や微小なものにも成膜が可能という特長を有している。当研究室ではチタン基板上に水熱合成PZT多結晶膜の成膜を行い、小型メンブレン型ハイドロホンの開発とその評価を行ってきた。しかし、当研究室の従来型ハイドロホンをHIFU(高密度焦点式超音波)装置および超音波洗浄機から照射される強力超音波に曝したところ、高音圧と音響キャビテーションの影響によりハイドロホンの表面電極が破損してしまい、計測が不可能となってしまった。そこで本研究では、チタン基板上に水熱合成法でPZT多結晶膜を成膜した振動子のチタン基板面を受音面とする堅牢タイプハイドロホンを開発した。HIFU装置及び超音波洗浄機を用いて評価したところ堅牢タイプハイドロホンは、HIFU装置や超音波洗浄機の形成する強力超音波音場でも破壊されることなく計測可能であることが判った。 |
| (英) |
It is difficult to use conventional hydrophones for measurement of high power ultrasound field with acoustic cavitation by high intensity focused ultrasound (HIFU) device or ultrasound cleaner, because a front electrode of the piezoelectric element in conventional type hydrophone was decorticated by acoustic cavitation and high sound pressure. We fabricated new toughness type hydrophones using titanium membrane acoustic receiving surface and hydrothermally synthesized lead zirconate titanate (PZT) film for measurement of high power ultrasound. We measured the acoustic field distribution (sound pressure distribution) by HIFU equipment and ultrasound cleaner. Our new type hydrophone could receive high power ultrasound without broken. |
| キーワード |
(和) |
水熱合成法 / PZT多結晶膜 / ハイドロホン / HIFU / 超音波洗浄機 / / / |
| (英) |
hydrothermal method / PZT poly-crystalline film / hydrophone / High Intensity Focused Ultrasound / ultrasound cleaner / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 109, no. 388, US2009-99, pp. 67-72, 2010年1月. |
| 資料番号 |
US2009-99 |
| 発行日 |
2010-01-18 (US) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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US2009-99 |