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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-04-23 14:55 マルチバンドRF回路用集積化RF MEMS技術 ○桑原 啓・高河原和彦・佐藤昇男・佐藤康博（NTT）  SCE2010-8 MW2010-8 |
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| 抄録 | （和） | マルチバンド対応の小型，低消費電力RF回路の実現に向け，多数個，複数種類のRF MEMSデバイスとCMOSデバイスを集積化する技術を提案する．また，バンドに応じて回路構成を切り替えるためのRF MEMSスイッチに関して，(1)CMOSデバイスとのプロセス親和性，(2)半導体実装技術を適用するための可動部保護，(3)CMOS制御回路から駆動するための低電圧動作，を特徴とする構造設計とプロセス構築を行い，スイッチを試作して高周波特性を測定した結果を示す．そして，RF MEMSスイッチを応用したスイッチトインダクタ回路と，CMOS制御回路と複数個のRF MEMSスイッチを集積化したRF CMOS-MEMSスイッチについて，試作結果を示し，提案技術の有効性を示す． |
| （英） | This paper describes integrated RF MEMS technology that enables integration of various kinds of RF MEMS devices and CMOS devices. RF MEMS switches that feature (1) CMOS-compatible process, (2) protection of movable parts for packaging with semiconductor packaging technology, (3) low-voltage operation for actuation by CMOS control circuits, are explained. Applications of the RF MEMS switches, such as switched inductor circuits and RF MEMS switch array with CMOS control circuits, are demonstrated. | |
| キーワード | （和） | MEMS / CMOS / RF回路 / スイッチ / インダクタ / 集積化 / / |
| （英） | MEMS / CMOS / RF circuits / Switch / Inductor / Integration / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 14, MW2010-8, pp. 39-43, 2010年4月. | |
| 資料番号 | MW2010-8 | |
| 発行日 | 2010-04-16 (SCE, MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2010-8 MW2010-8 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE MW |
| 開催期間 | 2010-04-23 - 2010-04-23 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | マイクロ波超伝導／一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2010-04-SCE-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | マルチバンドRF回路用集積化RF MEMS技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Integrated RF MEMS Technology for Multiband RF Circuits |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(3)（和/英） | RF回路 / RF circuits |
| キーワード(4)（和/英） | スイッチ / Switch |
| キーワード(5)（和/英） | インダクタ / Inductor |
| キーワード(6)（和/英） | 集積化 / Integration |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 桑原 啓 / Kei Kuwabara / クワバラ ケイ |
| 第1著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 (略称： NTT) NTT Microsystem Integration Laboratories (略称： NTT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高河原 和彦 / Kazuhiko Takagahara / タカガハラ カズヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 (略称： NTT) NTT Microsystem Integration Laboratories (略称： NTT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 昇男 / Norio Sato / サトウ ノリオ |
| 第3著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 (略称： NTT) NTT Microsystem Integration Laboratories (略称： NTT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 康博 / Yasuhiro Sato / |
| 第4著者 所属（和/英） | NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 (略称： NTT) NTT Microsystem Integration Laboratories (略称： NTT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-04-23 14:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | SCE2010-8, MW2010-8 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.13(SCE), no.14(MW) |
| ページ範囲 | pp.39-43 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2010-04-16 (SCE, MW) |
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