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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-04-23 13:00 ［招待講演］スパッタリング法によるSi膜と高性能多結晶Si薄膜トランジスタ ○芹川 正（阪大）  SDM2010-6 OME2010-6 |
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| 抄録 | （和） | スパッタ法によりa-Si膜を形成し、多結晶Si薄膜トランジスタ（poly-Si TFT）を製作した。スパッタ法によるa-Si膜の膜組織は形成条件、特にスパッタガス圧に大きく依存し、最適な条件でのSi膜はfiber状の膜組織となり、それを結晶化したpoly-Si膜の結晶粒界はfuzzyな構造を示した。この特徴的な膜を用いて製作したｐoly-Si TFTは、非常に高性能な特性を示すことを明らかにできた。 |
| （英） | Precursor a-Si films were deposited by sputtering and poly-Si TFTs were fabricated. Sputter-deposited a-Si film shows large dependence of film structure on deposition conditions, especially on sputtering gas pressure. Poly-Si TFTs fabricated using the a-Si film shows high quality characteristics featuring poly-Si films of small-grain / fuzzy-grain boundary. | |
| キーワード | （和） | 薄膜トランジスタ / 多結晶Si膜 / スパッタリング / 結晶粒界 / / / / |
| （英） | thin film transistor / polycrystalline Si / sputtering / grain boundary / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 15, SDM2010-6, pp. 23-28, 2010年4月. | |
| 資料番号 | SDM2010-6 | |
| 発行日 | 2010-04-16 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2010-6 OME2010-6 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2010-04-23 - 2010-04-23 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2010-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | スパッタリング法によるSi膜と高性能多結晶Si薄膜トランジスタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Sputter-deposition of Si films and fabrication of polycrystalline Si thin film transistors |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜トランジスタ / thin film transistor |
| キーワード(2)（和/英） | 多結晶Si膜 / polycrystalline Si |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタリング / sputtering |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶粒界 / grain boundary |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 芹川 正 / Tadashi Serikawa / セリカワ タダシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-04-23 13:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2010-6, OME2010-6 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.15(SDM), no.16(OME) |
| ページ範囲 | pp.23-28 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-04-16 (SDM, OME) |
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