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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-09-02 13:00 ［招待講演］シリコンフォトニクス ○森 雅彦・榊原陽一・岡野 誠・古屋克己・亀井利浩・金高健二・庄司雄哉・須田悟史・河島 整（産総研）  PN2010-16 |
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| 抄録 | （和） | シリコンを光導波路のコアに、SiO2や空気をクラッドとして用いるシリコンフォトニクスは、高屈折率差により微小光回路を実現できるとともに、既存の成熟したシリコンCMOS技術を光デバイスに転用できるために高品質なデバイスを低コストに実現できる可能性を持つ。また、光電子集積デバイスも作製が可能であり、近年活発な研究開発が進められてきている。われわれも光通信用大規模マトリックススイッチや光インターコネクションを目指しシリコンフォトニクスの研究を進めている。特に、バックエンドプロセスとしての光回路及び、立体的な光配線作製を考えると、低温で多層集積可能なアモルファスシリコンを用いた技術の開発が重要である。 |
| （英） | Silicon Photonics, which consist of silicon core and SiO2 and/or air clad in optical waveguides, can achieve very small optical circuits according to the high refractive index difference. And it has the possibility that a high-quality and low-cost optical devices by using mature silicon CMOS technologies. Moreover, the photo-electric integrated device can be made. Therefore, active researches and developments have been advanced in recent years. We are also studying silicon photonics technologies for large-scale matrix switches and optical interconnections. Especially, the development of the technology that uses amorphous silicon is very important because that can accumulate multilayer at low temperature when thinking about optical circuits as the back-end process and three-dimensional optical circuits. | |
| キーワード | （和） | シリコンフォトニクス / 光マトリックススイッチ / 光インターコネクション / アモルファスシリコン / / / / |
| （英） | Silicon Photonics / Optical Matrix Switch / Optical Interconnection / Amorphous Silicon / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 193, PN2010-16, pp. 25-30, 2010年9月. | |
| 資料番号 | PN2010-16 | |
| 発行日 | 2010-08-26 (PN) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | PN2010-16 |
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