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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-09-29 15:40 LFB超音波材料解析システムによる損失のある試料に対する漏洩弾性表面波伝搬特性の測定 ○近藤貴則・大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一（東北大）  US2010-54 |
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| 抄録 | （和） | 表面粗さの異なるZnO多結晶薄膜／合成石英ガラス基板構造試料に対して、直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムにより測定される漏洩弾性表面波(LSAW)伝搬特性(位相速度、伝搬減衰)の測定値に現れる表面散乱の影響について検討した。DCスパッタリング法により厚さ10 \mumのZnO膜を成膜し、透明で表面が平坦な膜と白濁して表面が粗い膜を準備した。両試料に対し100-300 MHzの範囲でLSAW伝搬特性を測定した結果、単結晶を仮定したZnO膜の場合の計算値に比べ、平坦膜のLSAW速度は30～40 m/s、粗い膜のLSAW速度は46～66 m/s低下した。規格化伝搬減衰の結果においては、平坦膜では計算値との差は0.0004だけわずかに大きいがほぼ一定値で、粗い膜では計算値より0.0008～0.0034大きく、高周波になるほどその差が増大した。平坦膜と粗い膜の結果の差を求めることにより、試料表面における散乱によるLSAW伝搬特性の変化を抽出した。 |
| （英） | We investigated scattering effect observed in leaky surface acoustic wave (LSAW) propagation characteristics (phase velocity and propagation attenuation) measured for ZnO film/SiO2 silica glass specimen with different surface roughnesses. We prepared two ZnO films with 10-\mum thickness fabricated on SiO2 silica glass by the DC sputtering, one is a transparent film with smooth surface and the other is a cloudy film with rough surface. We measured frequency dependences of LSAW propagation characteristics at 100-300 MHz for both the film specimens, resulting in 30-40 m/s decrease for the smooth film and 46-66 m/s decrease for the rough film in LSAW velocity compared with calculated results assuming a single crystal film. In the results of normalized attenuation, we observed almost constant and slight difference of 0.0004 for the smooth film and difference from 0.0008 to 0.0034 increasing with frequency for the rough film compared with the calculated result. From the difference between the results of the smooth and rough films, we could extract the variations in LSAW propagation characteristics due to scattering at the specimen surface. | |
| キーワード | （和） | ZnO多結晶薄膜 / 表面散乱 / 直線集束ビーム超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波伝搬特性 / / / / |
| （英） | ZnO polycrystalline film / scattering at surface / line-focus-beam ultrasonic material characterization system / leaky surface acoustic wave propagation characteristics / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 213, US2010-54, pp. 33-37, 2010年9月. | |
| 資料番号 | US2010-54 | |
| 発行日 | 2010-09-22 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2010-54 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2010-09-29 - 2010-09-30 |
| 開催地（和） | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2010-09-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | LFB超音波材料解析システムによる損失のある試料に対する漏洩弾性表面波伝搬特性の測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measurement of Propagation Characteristics of Leaky Surface Acoustic Waves for Lossy Specimen by the LFB Ultrasonic Material Characterization System |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO多結晶薄膜 / ZnO polycrystalline film |
| キーワード(2)（和/英） | 表面散乱 / scattering at surface |
| キーワード(3)（和/英） | 直線集束ビーム超音波材料解析システム / line-focus-beam ultrasonic material characterization system |
| キーワード(4)（和/英） | 漏洩弾性表面波伝搬特性 / leaky surface acoustic wave propagation characteristics |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 貴則 / Takanori Kondo / コンドウ タカノリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi / オオハシ ユウジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa / アラカワ モトタカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki / クシビキ ジュンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-09-29 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2010-54 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.213 |
| ページ範囲 | pp.33-37 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2010-09-22 (US) |
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