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| 講演名 | 2010-10-29 15:30 端面コーティング改善によるAlGaInAsレーザの高信頼性化 ○市川弘之・福田智恵・松川真治・生駒暢之（住友電工）  OCS2010-83 OPE2010-119 LQE2010-92 |
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| 抄録 | （和） | 光通信波長帯に対応したAlGaInAsレーザは、光通信システムの光源として幅広く用いられているGaInAsPレーザと比較して高速変調・高温動作に優れた特徴を持つ。これまで我々は、このAlGaInAsレーザの信頼性を精査し、順方向ESD試験での劣化と、加速劣化試験と名付けた高電流通電試験での劣化が課題であることを示唆してきた。これらの劣化はどちらもレーザ端面の活性層で生じることが判明しており、端面コーティングの改善により両劣化の抑制を図った。順方向ESD試験では、CODと同様に端面の活性層において光吸収による溶解が生じる。そこで、端面コーティング直前にAl薄膜を端面に堆積するパッシベーションを適用した。酸素雰囲気中で端面コーティングを成膜する際に、端面が酸化されるのをAl薄膜により防ぐことを意図したものである。このパッシベーションの適用により、ESD試験電圧1kVの累積劣化率は40%から0%に低減する結果を得た。一方、加速劣化試験では、絶対定格電流を超えた200mAの高電流下で、環境温度85℃にて800hの通電試験を行った。加速劣化試験では、端面の活性層を覆う転位網が形成される。転位網の形成に寄与すると考えられる格子間原子の拡散を抑えるため、格子間距離を縮めるように200MPaの圧縮応力を持つ端面コーティングを適用した。この端面コーティングの適用により、加速劣化試験の劣化率は5%から0%に低減する結果を得た。以上の端面コーティング改善の検討により、AlGaInAsレーザの信頼性上の課題であったESD試験と加速劣化試験での劣化を抑制でき、高信頼性化を図ることに成功した。 |
| （英） | AlGaInAs lasers are suitable for element devices of optical communication systems. However, degradations in forward-biased ESD tests and accelerated aging tests were found. Since both degradations occurred at the facet of the laser, we improved facet-coating processes. In forward-biased ESD tests, we introduced a passivation of an Al ultrathin layer just before facet-coating. The Al ultrathin layer prevents oxidation of the facet from oxygen atmosphere. The degradation ratio of 1 kV ESD tests was decreased from 40% to 0% by introducing the passivation. In accelerated aging tests of 200 mA at 85℃, we introduced facet-coating with compressive strain. This degradation differed completely from that caused by ESD; dislocation loops covered the entire active layer at the facet. The degradation ratio of 800 h aging was decreased from 5% to 0% by introducing the compressively strained facet-coating. | |
| キーワード | （和） | AlGaInAs / レーザ / 端面コーティング / ESD / 信頼性 / / / |
| （英） | AlGaInAs / Laser / Facet-coating / ESD / Reliability / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 259, LQE2010-92, pp. 157-162, 2010年10月. | |
| 資料番号 | LQE2010-92 | |
| 発行日 | 2010-10-21 (OCS, OPE, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OCS2010-83 OPE2010-119 LQE2010-92 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE OPE OCS |
| 開催期間 | 2010-10-28 - 2010-10-29 |
| 開催地（和） | 門司港レトロ・港ハウス |
| 開催地（英） | Mojiko Retro Town, Minato house |
| テーマ（和） | 超高速伝送・変復調・分散補償技術、超高速光信号処理技術、広帯域光増幅・WDM技術、受光デバイス、高光出力伝送技術、一般 (ECOC報告) |
| テーマ（英） | Ultrafast transmission,signal processing/modulation-demodulation/wideband amplification,WDM technology/light emitting-receiving device/high power light delivery/etc(report on ECOC) |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2010-10-LQE-OPE-OCS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 端面コーティング改善によるAlGaInAsレーザの高信頼性化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High Reliable AlGaInAs Lasers by Improved Facet-Coating Processes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlGaInAs / AlGaInAs |
| キーワード(2)（和/英） | レーザ / Laser |
| キーワード(3)（和/英） | 端面コーティング / Facet-coating |
| キーワード(4)（和/英） | ESD / ESD |
| キーワード(5)（和/英） | 信頼性 / Reliability |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 市川 弘之 / Hiroyuki Ichikawa / イチカワ ヒロユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 住友電気工業 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福田 智恵 / Chie Fukuda / フクダ チエ |
| 第2著者 所属（和/英） | 住友電気工業 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松川 真治 / Shinji Matsukawa / マツカワ シンジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 住友電気工業 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 生駒 暢之 / Nobuyuki Ikoma / イコマ ノブユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 住友電気工業 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2010-10-29 15:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | OCS2010-83, OPE2010-119, LQE2010-92 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.257(OCS), no.258(OPE), no.259(LQE) |
| ページ範囲 | pp.157-162 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-10-21 (OCS, OPE, LQE) |
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