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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2010-12-16 16:20 ミリ波マイクロスコピー用高分解能スリット型プローブの開発 宮坂紀行・○莅戸立夫（富山大）  MW2010-127 |
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| 抄録 | （和） | 方形金属導波管を用いたミリ波マイクロスコピー用スリット型プローブの高分解能化，高感度化に関する検討を実施した．新たなプローブとして，従来機械工作で製作しているスリット型プローブの先端に，バルクマイクロマシン（半導体プロセス）技術で製作したより微小なスリット開口を有するシリコン製チップを装着する構造を提案する．本チップの設計，製作方法について説明し，実際にチップを装着したプローブの特性評価実験の結果により本プローブ構造の有効性を実証する． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | ミリ波イメージング / 走査型近接場顕微鏡技術 / 近接場プローブ / バルクマイクロマシニング / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 110, no. 343, MW2010-127, pp. 29-34, 2010年12月. | |
| 資料番号 | MW2010-127 | |
| 発行日 | 2010-12-09 (MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2010-127 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
| 開催期間 | 2010-12-16 - 2010-12-17 |
| 開催地（和） | 金沢工業大学 |
| 開催地（英） | Kanazawa Inst. of Tech. |
| テーマ（和） | マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2010-12-MW |
| 本文の言語 | 英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） | ミリ波マイクロスコピー用高分解能スリット型プローブの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Enhancing the Resolution of Millimeter-Wave Microscopy Using a Metal Slit-Type Probe |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミリ波イメージング / |
| キーワード(2)（和/英） | 走査型近接場顕微鏡技術 / |
| キーワード(3)（和/英） | 近接場プローブ / |
| キーワード(4)（和/英） | バルクマイクロマシニング / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮坂 紀行 / Noriyuki Miyasaka / ミヤサカ ノリユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 莅戸 立夫 / Tatsuo Nozokido / ノゾキド タツオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 富山大学 (略称： 富山大) University of Toyama (略称： Univ. of Toyama) |
| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2010-12-16 16:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2010-127 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | no.343 |
| ページ範囲 | pp.29-34 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2010-12-09 (MW) |
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