| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2011-01-20 11:00
Ti製受音膜裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜した堅牢ハイドロホンの特性改善のための検討 ○竹内真一・吉村一穂・八木 瞳・川島徳道(桐蔭横浜大)・内田武吉・菊池恒男(産総研)・黒澤 実(東工大) US2010-94 |
| 抄録 |
(和) |
我々の開発した耐キャビテーション・ハイドロホンは、超音波洗浄器の水槽中やHIFU 治療装置の集束音場のようなキャビテーションの発生を伴う強力な超音波音場中でも壊れることなく長時間にわたって計測可能であることを確認できた。しかしながら、HIFU 装置の焦点に設置したにもかかわらず試作ハイドロホンの出力波形が非線形歪みの小さな正弦波状の波形しか観測できなかった。これは、ハイドロホンの高周波域における受波感度が低いためと考えられる。そこで、等価回路を用いた数値計算に基づいてハイドロホンの特性解析を行った結果、Ti 膜前面板の厚さを現在の50um から5um 以下に変更することが望ましいことがわかった。 |
| (英) |
We developed the original hydrophone with hydrothermally synthesized PZT poly-crystalline film deposited on a reverse surface of a Ti film front layer as protection layer, acoustic receiving layer and GND electrode in order to realize an anti cavitation hydrophone. Our hydrophone could be used in the high intensity ultrasound field with generation of acoustic cavitation such as focal area of HIFU treatment equipment and in a vessel of an ultrasound cleaner without broken. However, we observed the output waveform of the hydrophone without nonlinear distortion in spite of measurement in high intensity ultrasound field like focal area of HIFU treatment equipment. We considered on the cause of above problem by numerical simulation with MASON’s equivalent circuit and one dimensional acoustic transmission model. As results, it was found that the hydrophone with thinner Ti front layer has wider frequency characteristics of receiving sensitivity. We can expect higher fidelity of received waveform with nonlinear distortion and nonlinear harmonic components by using anti cavitation hydrophone with Ti film front layer with thickness thinner than 5um. |
| キーワード |
(和) |
耐キャビテーション・ハイドロホン / 水熱合成PZT多結晶膜 / Ti 製受音膜 / 数値シミュレーション / 等価回路 / / / |
| (英) |
Anti caitation hydrophone / hydrothermally synthesized PZT poly-crystalline film / Ti acoustic receiving film / Numerical simulation / Equivalent circuit / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 366, US2010-94, pp. 13-18, 2011年1月. |
| 資料番号 |
US2010-94 |
| 発行日 |
2011-01-13 (US) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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US2010-94 |