| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2011-03-02 17:00
[フェロー記念講演]More Mooreに立ちはだかるCMOSばらつきの理解に向けて ○小野寺秀俊(京大/JST) VLD2010-124 |
| 抄録 |
(和) |
デバイス寸法がナノメートルの領域に入ってきた現在、デバイス特性の
ばらつきはLSI設計における深刻な問題となってきた。
デバイスの更なる微細化や製造プロセスやデバイス構造の複雑化は、
特性ばらつき量の拡大だけでなく、ストレスのばらつきや活性化度の
ばらつきなど、新たなばらつき要因の発生も引き起こしている。
デバイスの特性ばらつきは、今やMore Moore方向への更なる発展を
阻む主要な要因となった。本講演では、CMOSばらつきの原因を説明し、
その現状と将来動向を述べる。また、CMOSばらつきへの対策について
も触れる。取り上げるCMOSばらつきは、主に製造プロセスやデバイス構造
に起因したばらつきであるが、ランダムテレグラフノイズやBTI(Bias Temperature
Instability)のような動的に変化する特性ばらつきについても紹介する。 |
| (英) |
With the device dimensions in the nanometer regime,
variability becomes a serious concern in LSI design.
Aggressive scaling and increasing technology complexity lead
to an explosion in the magnitude of variability while also
introducing new sources of variability such as stress variation.
The variability now becomes the primary obstacle for further
scaling toward the More Moore direction.
In this talk, we will review recent trend of CMOS variability.
Other topics include variability characterization, minimization
and mitigation.
The CMOS variability in this talk mainly originates from fabrication
processes and device structures, but dynamic and temporal variability
such as RTN(Random Telegraph Noise) and BTI(Bias Temperature Instability)
will be also touched on. |
| キーワード |
(和) |
ばらつき / 製造容易化設計 / ばらつき考慮設計 / 統計的設計 / RTN / BTI / / |
| (英) |
Variability / Design for Manufacturing / Statistical Design / RTN / BTI / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 110, no. 432, VLD2010-124, pp. 49-49, 2011年3月. |
| 資料番号 |
VLD2010-124 |
| 発行日 |
2011-02-23 (VLD) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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VLD2010-124 |