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講演抄録/キーワード
講演名 2011-03-10 17:10
非線形MEMS共振器の共存解切り替えに関する一検討
八尾 惇ナイク スケト引原隆士京大NLP2010-179
抄録 (和) 近年注目を集めているMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) デバイスのひとつとして, MEMS 共振器がある. Unterreithmeier らは, 応答曲線にヒステリシス特性を有する両持ち梁のMEMS 共振器において, 駆動周波数を一定に保ったまま共存解を切り替えることが可能であることを示した. 本報告では, この結果を受け, 共振器における共存解の切り替えに時間遅れ入力を用いたフィードバック制御を適用することを検討する. まず, 数値計算によりその制御の可能性について確認する. さらに, 実験において検証するために, ヒステリシス特性を有するMEMS 共振器を作製し, その特性を得た. これらについてまとめる. 
(英) Recently, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) resonator has been extensively studied. Unterreithmeier et al. has suggested switching method for coexisting solutions in a MEMS resonator of doubly fixed beam
with hysteresis at a single frequency. In this report, we apply the time-delayed feedback control to switch coexisting
solutions. The availability of the control is numerically confirmed. In addition, MEMS resonators were designed
and fabricated to obtain hysteretic characteristics.
キーワード (和) MEMS / 共振器 / 切り替え / ヒステリシス特性 / 時間遅れ入力を用いたフィードバック制御 / / /  
(英) MEMS / resonator / switching / hysteretic characteristics / time-delayed feedback control / / /  
文献情報 信学技報, vol. 110, no. 465, NLP2010-179, pp. 93-97, 2011年3月.
資料番号 NLP2010-179 
発行日 2011-03-03 (NLP) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード NLP2010-179

研究会情報
研究会 NLP  
開催期間 2011-03-10 - 2011-03-11 
開催地(和) 東京理科大学森戸記念館 
開催地(英) Tokyo University of Science 
テーマ(和) 一般 
テーマ(英) General 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 NLP 
会議コード 2011-03-NLP 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 非線形MEMS共振器の共存解切り替えに関する一検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A Study on Switching Method for Coexisting Solutions in a Nonlinear MEMS Resonator 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) MEMS / MEMS  
キーワード(2)(和/英) 共振器 / resonator  
キーワード(3)(和/英) 切り替え / switching  
キーワード(4)(和/英) ヒステリシス特性 / hysteretic characteristics  
キーワード(5)(和/英) 時間遅れ入力を用いたフィードバック制御 / time-delayed feedback control  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 八尾 惇 / Atsushi Yao / ヤオ アツシ
第1著者 所属(和/英) 京都大学 (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ,)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) ナイク スケト / Suketu Naik / ナイク スケト
第2著者 所属(和/英) 京都大学 (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ,)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 引原 隆士 / Takashi Hikihara / ヒキハラ タカシ
第3著者 所属(和/英) 京都大学 (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ,)
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講演者 第1著者 
発表日時 2011-03-10 17:10:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 NLP 
資料番号 NLP2010-179 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.465 
ページ範囲 pp.93-97 
ページ数
発行日 2011-03-03 (NLP) 


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