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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-05-20 16:30 アダプティブ制御ホログラフィックフェムト秒レーザー加工システム ○長谷川智士・早崎芳夫（宇都宮大）  LQE2011-14 |
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| 抄録 | （和） | ホログラフィックフェムト秒レーザー加工は，空間光変調素子に表示された計算機ホログラムにより，フェムト秒レーザーパルスを任意の光強度パターンに整形し，高スループット，高光利用効率なレーザー加工を行う技術である．ホログラフィックフェムト秒レーザー加工において，膨大な数のナノスケール構造物の作製を高精度かつ高効率に行うためには，加工システムのアダプティブ制御が重要となる．本報告では，加工の高精度化や高効率化のために，アダプティブ制御を用いた計算機ホログラムの最適化手法や，光学系の波面収差の補正について述べる． |
| （英） | Holographic femtosecond laser processing has the advantages of high throughout and high light-utilization efficiency of a laser pulse energy by shaping the laser pulse into an arbitrary optical intensity pattern with use of a computer-generated hologram displayed on a spatial light modulator. In holographic femtosecond laser processing, an adaptive control of the processing system is important for fabricating enormous numbers of nanometer-scale structures efficiently and precisely. In this paper, we demonstrated an optimization of the hologram and a correction of wavefront aberration in the optical system based on the adaptive control. | |
| キーワード | （和） | フェムト秒レーザー加工 / 空間光変調素子 / 計算機ホログラム / 適応光学 / / / / |
| （英） | Femtosecond laser processing / Spatial light modulator / Computer-generated hologram / Adaptive optics / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 56, LQE2011-14, pp. 59-64, 2011年5月. | |
| 資料番号 | LQE2011-14 | |
| 発行日 | 2011-05-13 (LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | LQE2011-14 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE LSJ |
| 開催期間 | 2011-05-20 - 2011-05-20 |
| 開催地（和） | 金沢大学 角間キャンパス |
| 開催地（英） | Kanazawa Univ. (Natural Sci. Tech. Main Bldg.) |
| テーマ（和） | 量子光学，非線形光学，超高速現象，レーザ基礎，及び一般 |
| テーマ（英） | Quantum optics, nonlinear optics, ultra-high speed phenomenon, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2011-05-LQE-LSJ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | アダプティブ制御ホログラフィックフェムト秒レーザー加工システム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Adaptively-controlled holographic femtosecond laser processing system |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フェムト秒レーザー加工 / Femtosecond laser processing |
| キーワード(2)（和/英） | 空間光変調素子 / Spatial light modulator |
| キーワード(3)（和/英） | 計算機ホログラム / Computer-generated hologram |
| キーワード(4)（和/英） | 適応光学 / Adaptive optics |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長谷川 智士 / Satoshi Hasegawa / ハセガワ サトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 宇都宮大学 (略称： 宇都宮大) Utsunomiya University (略称： Utsunomiya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 早崎 芳夫 / Yoshio Hayasaki / ハヤサキ ヨシオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 宇都宮大学 (略称： 宇都宮大) Utsunomiya University (略称： Utsunomiya Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-05-20 16:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | LQE2011-14 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.56 |
| ページ範囲 | pp.59-64 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-05-13 (LQE) |
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