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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-07-04 11:00 XPS時間依存測定法によるSiO2/Si界面の電荷トラップ密度の面方位依存性の評価 ○石原由梨（芝浦工大）・渋谷寧浩・五十嵐 智（東京都市大）・小林大輔（JAXA）・野平博司（東京都市大）・上野和良（芝浦工大）・廣瀬和之（JAXA）  SDM2011-55 |
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| 抄録 | （和） | 「シリコンテクノロジー分科会研究集会発表」 MOSFETの微細化に伴うゲート酸化膜の薄膜化によるSiO2/Si界面近傍の構造欠陥に起因する 電荷トラップのしきい値電圧への影響が顕著になっている。 今回、電荷トラップの評価方法としてX線照射に伴うSi基板のバンドベンディングの 変化から極薄酸化膜中の電荷トラップ密度を見積もる手法(XPS時間依存測定法)を 用いて、次世代の3次元MOS構造を想定し、様々な面方位のSi基板上に形成した SiO2/Si界面の電荷トラップ密度を推定した。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 114, SDM2011-55, pp. 29-34, 2011年7月. | |
| 資料番号 | SDM2011-55 | |
| 発行日 | 2011-06-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2011-55 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2011-07-04 - 2011-07-04 |
| 開催地（和） | 名古屋大学（ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー） |
| 開催地（英） | VBL, Nagoya Univ. |
| テーマ（和） | ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術（応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催） |
| テーマ（英） | Science and Technology for Dielectric Thin Films for Electron Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2011-07-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | XPS時間依存測定法によるSiO2/Si界面の電荷トラップ密度の面方位依存性の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Dependence of carrier traps at SiO2/Si interfaces on Si surface orientation studied by XPS time-dependent measurement |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石原 由梨 / Yuri Ishihara / イシハラ ユリ |
| 第1著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 (略称： 芝浦工大) Shibaura Institute of Technology (略称： Shibaura Inst.Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渋谷 寧浩 / Yasuhiro Shibuya / シブヤ ヤスヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京都市大学 (略称： 東京都市大) Tokyo city University (略称： Tokyo City Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 五十嵐 智 / Satoshi Igarashi / イガラシ サトシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京都市大学 (略称： 東京都市大) Tokyo city University (略称： Tokyo City Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 大輔 / Daisuke Kobayashi / コバヤシ ダイスケ |
| 第4著者 所属（和/英） | 宇宙科学研究本部 (略称： JAXA) ISAS/JAXA (略称： ISAS/JAXA) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野平 博司 / Hiroshi Nohira / |
| 第5著者 所属（和/英） | 東京都市大学 (略称： 東京都市大) Tokyo city University (略称： Tokyo City Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上野 和良 / Kazuyoshi Ueno / ウエノ カズヨシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 (略称： 芝浦工大) Shibaura Institute of Technology (略称： Shibaura Inst.Tech) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 和之 / Kazuyuki Hirose / |
| 第7著者 所属（和/英） | 宇宙科学研究本部 (略称： JAXA) ISAS/JAXA (略称： ISAS/JAXA) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-07-04 11:00:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2011-55 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.114 |
| ページ範囲 | pp.29-34 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2011-06-27 (SDM) |
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