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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2011-09-26 15:50 c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数 ○中東佑太（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大）  US2011-50 |
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| 抄録 | （和） | 横波型弾性表面波（SH型SAW）は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため，液体の導電率や粘性を測定できる．c軸が基板面に対して一方向かつ平行に配向したc軸平行配向ZnO膜を用いれば任意の基板上にSH型SAWセンサを作製できる可能性がある．なお，理論解析より，IDT / ZnO膜(0º, 90º, $\psi$) / 石英基板構造において，$\psi$ = 55º，H / $\lambda$ = 0.21のときに電気機械結合係数（K2）が最大3.4 %となることがわかっている．本報告では，同構造のデバイスを作製し，$\psi$ = 0º-90ºと変化させた際のK2を評価した．また，液体中でのSH型SAW励振実験を行った． |
| （英） | A shear horizontal type surface acoustic wave (SH-SAW) propagates at liquid/solid interface without energy leakage to the liquid. This device can detect changes in conductivity and viscosity of liquid. c-axis parallel oriented ZnO film can be one of the best candidates for the SH-SAW liquid sensor on various substrates. Theoretical investigation of K2 value in IDT / ZnO (0º, 90º, $\psi$) film / silica glass substrate structure showed that maximum value of K2 = 3.4 % was found at $\psi$ = 55º with H / $\lambda$ = 0.21. In this study, we fabricated these structures and evaluated K2 values. Finally, excitations of SH-SAW were performed in the liquid. | |
| キーワード | （和） | c軸平行配向ZnO膜 / SH型SAW / 電気機械結合係数 / / / / / |
| （英） | c-axis parallel oriented ZnO film / SH-SAW / electromechanical coupling coefficient / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 215, US2011-50, pp. 23-26, 2011年9月. | |
| 資料番号 | US2011-50 | |
| 発行日 | 2011-09-19 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2011-50 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2011-09-26 - 2011-09-27 |
| 開催地（和） | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2011-09-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electromechanical coupling coefficient of SH-SAW in c-axis parallel oriented ZnO film/non-crystalline substrate structure |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | c軸平行配向ZnO膜 / c-axis parallel oriented ZnO film |
| キーワード(2)（和/英） | SH型SAW / SH-SAW |
| キーワード(3)（和/英） | 電気機械結合係数 / electromechanical coupling coefficient |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中東 佑太 / Yuta Nakahigashi / ナカヒガシ ユウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学 (略称： 名工大) Nagoya Institute of Technology (略称： Nagoya Inst. Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松川 真美 / Mami Matsukawa / マツカワ マミ |
| 第3著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡辺 好章 / Yoshiaki Watanabe / ワタナベ ヨシアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2011-09-26 15:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2011-50 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.215 |
| ページ範囲 | pp.23-26 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2011-09-19 (US) |
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