| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2011-10-21 11:20
ゲート付CNT電子源を用いたX線源の開発 ○真鍋知弥・新田翔吾・沖 宏吏・阿保 智・若家冨士男・高井幹夫(阪大) ED2011-71 |
| 抄録 |
(和) |
スクリーン印刷法で作製したガラス基板上ゲート付CNT電子源を用いたX線源のパルス制御を検討している。電子放出特性改善のためKrF エキシマーレーザと高電界パルスエージングによる表面処理を約44 mm×50 mm のCNT電子源に施した。CNT電子源、開口率約40 %のゲート電極、銅薄膜の3極構造を用い、銅薄膜に最大13 kVの加速電圧を、ゲート電極にパルス幅10 ms、周波数10 Hz、ピーク電圧500 Vのパルス電圧をそれぞれ印加し、印加パルスに同期した10 HzのパルスX線を得た。 |
| (英) |
A pulsed X-ray source using a gated CNT(Carbon Nanotube) emitter has been developed. A CNT emitter with a size of 44 ×50 mm2 was fabricated on an Indium Tin Oxide(ITO)/glass substrate by screen printing. The emission characteristics and the uniformity of emission from CNT emitters have been improved by KrF excimer laser irradiation and high electric field pulse aging. The triode structure is constructed from a CNT emitter, a gate electrode and a thin Cu target. The maximum applied voltage of the Cu target is 13 kV. The pulse voltage with 1 ms width, 10 Hz repetition, and 500 Vpeak is applied to the gate electrode. 10 Hz X-ray pulses, synchronized with gate pulse voltage, are obtained. |
| キーワード |
(和) |
CNT(Carbon Nanotube) / X線源 / 電子放出 / 電子源 / / / / |
| (英) |
CNT(Carbon Nanotube) / X-ray source / Field emission / Electron emitter / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 248, ED2011-71, pp. 59-63, 2011年10月. |
| 資料番号 |
ED2011-71 |
| 発行日 |
2011-10-13 (ED) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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ED2011-71 |